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GB／T 11094-2020 水平法砷化镓单晶及切割片.pdf

砷化镓切割片的电学性能、位错密度应符合5.1.2、5.1.3的规定，由供方保证。如有特殊 需双方协商并在订货单（或合同）中注明

GB/T 11094—2020

砷化镓切割片的厚度为170um～650um，厚度的允许偏差为15um～30um。常见的切割片厚 许偏差为210μm±20μm、280μm±20μm、320μm±20μm、350μm±15μm420μm±15μm

砷化切割片的晶向偏离及其允许偏差应符合表4的规定。如有特殊要求WB/T 1106-2021 大宗货物电子仓单，由供需双方协商并 货单（或合同）中注明

表4晶向偏离及允许偏差

5.2.5参考面取向和长度

5.2.5.1化镓切割片的参考面取向应符合表5的规定

5.2.5.1砷化镓切割片的参考面取向应符合表5的规定

GB/T 110942020

3主参考面垂直于V型槽的参考面取向示意图

图4主参考面垂直于燕尾槽的参考面取向示意图

5.2.5.2砷化镓切割片的参考面长度及其允许偏差应符合表6的规定。

表6参考面长度及允许偏差

砷化镓切割片表面应平整，不应有锯纹、裂纹、崩边、沾污、李晶线等。

6.1砷化镓单晶生长方向的测试按GB/T1555的规定进行。 5.2砷化单晶电学性能的测试按GB/T4326的规定进行。 6.3化镓单晶位错密度的测试按GB/T8760的规定进行。 6.4砷化单晶外形尺寸的测量用分度值不大于0.02mm的游标卡尺测量，其中基准面法线与生长方 向夹角β通过测量砷化镓单晶长度L与厚度后计算得出。 6.5化镓单晶表面质量的检查在良好照明下目视进行。 6.6砷化切割片直径的测量用分度值不大于0.02mm的游标卡尺进行。 6.7碑化镓切割片厚度的测量用分度值为0.001mm的千分尺进行。 6.8砷化切制片晶向偏离的测试按GB/T1555的规定进行。 6.9砷化镓切割片参考面取向的测试按GB/T13388的规定进行。 5.10砷化切割片参考面长度的测量用分度值不天于0.02mm的游标卡尺进行，

7.1.1产品应由供方质量检验部门进行检验，保证产品质量符合本标准规定，并填写产品质量证明书。 7.1.2需方应对收到的产品按照本标准的规定进行检验。检验结果与本标准、订货单（或合同)的规定 不符时，应以书面形式向供方提出，由供需双方协商解决。对外形尺寸、表面质量有异议时，应在收到产 品之日起一个月内提出，属于其他性能的异议，应在收到产品之日起三个月内提出。如需仲裁，仲裁取 样应由供需双方共同进行

GB/T110942020

别、相同外形尺寸的砷化镓单晶组成；对于砷化镓切割片，每批应由同一根砷化镓单晶加工成的相同直 经、相同厚度的砷化镓切割片组成

每批产品的检验项目及取样应符合表7的规定

验项目及取样应符合表

7.4.1.1砷化镓单晶电学性能、位错密度的任一项检验结果不合格时，允许再次取样对不合格项目进行 重复检验，若重复检验结果仍不合格，允许再次取样直到砷化镓单晶长度小于本标准规定的尺寸为止 最后一次检验不合格，判该根碑化镓单晶不合格， 7.4.1.2砷化镓单晶外形尺寸、表面质量的任一项检验结果不合格时，判该根砷化镓单晶不合格

7.4.2砷化镓切割片

4.2.1碑化镓切割片的直径、厚度、晶向偏离、参考面取向和参考面长度的接收质量限由供需 商。 4.2.2砷化镓切割片的表面质量检验结果不合格时，判该片切割片不合格

8标志、包装、运输、购存和质量证明书

8.1.1砷化镓单晶表面贴上标签，注明单晶牌号

GB/T 11094—2020

8.2.1将做好标志的砷化镓单晶用海绵包裹，然后用透明胶带捆扎，装人包装纸箱内，箱内垫衬软性材 科，以防损伤， 8.2.2每一片砷化镓切割片放入一个纸质包装袋中，然后放入塑料包装盒中，每10个～30个纸袋装 盒，包装盒的底部和表面垫衬软性材料，然后用胶带将包装盒扎紧。将装有砷化切割片的塑料包装 盒，装入包装纸箱中，箱内垫衬软性材料，以防损伤

GB/T 40099-2021 太阳能光热发电站 代表年太阳辐射数据集的生成方法产品在运输过程中应防止碰撞、受潮和化学唇

产品应存放在干燥、无腐蚀性气氛中

9.1订购碑化镓单晶的订货单（或合同）应包括

a) 产品名称； b) 牌号及掺杂剂； c) 载流子浓度范围； d) 位错密度范围： e) 外形尺寸； f) 重量或长度； g) 本标准编号； h) 其他。 .2 订购砷化镓切割片的订货单（或合同）应包括以下内容：

TTAF 069.1-2020 移动应用分发平台系列规范：APP信息展示规范a）产品名称； b）牌号； 载流子浓度范围； d）位错密度范围； e）几何尺寸、晶向偏离、参考面取向及长度； f）片数； g）本标准编号； h)其他。

a）产品名称； b）牌号； 载流子浓度范围； d）位错密度范围； e）几何尺寸、晶向偏离、参考面取向及长度； f)片数； g）本标准编号； h) 其他

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