JJF 1238-2022标准规范下载简介：

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JJF 1238-2022 集成电路静电放电敏感度测试设备校准规范.pdf

表4机器模型5002负载放电电流计量特性

6.1.2相对湿度：30%～75%。 6.1.3电源要求：（220士11）V；（50士1）Hz。 6.1.4周围无影响正常工作的机械振动和电磁干扰 6.2测量标准及其他设备 6.2.1数字示波器 带宽：≥1GHz 幅度（502)：10mV~5V； 直流幅度最大允许误差：土2%。 6.2.2电流探头（用于人体模型） 电流范围：（0.05～12）A； 最大允许误差：土3%； 带宽：≥1GHz; 上升时间：≤1ns。 6.2.3电流探头（用于机器模型） 电流范围：（1.0~36）A； 最大允许误差：土3%； 带宽：≥200MHz； 上升时间：≤1ns。 6.2.4502同轴衰减器 衰减量：20dB； 最大允许误差：士0.2dB； 带宽：≥2GHz。

6.2测量标准及其他设备

GB 13458-2013 合成氨工业水污染物排放标准6.2测量标准及其他设备

6.2.5电阻（放电负载）

阻值：5002； 最大允许误差：土0.1%； 极限电压：≥4kV

6.2.6标准电阻器组

阻值：0.12、12、102 最大允许误差：士1%； 额定连续功率：≥20W

截面积为（0.21~0.83）mm²的镀锡单芯铜线

被校设备校准项目见表5

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，.1优仅正主直 7.2.1.1被校设备应外观完好、应附有设备正常工作的必要的附件。各开关、按键等 应安装牢固、调节正常，无影响电气性能的机械损伤。 7.2.1.2 通电预热后，被校设备应能正常工作。 7.2.1.3 启动被校设备自检功能，自检应全部项目合格。 7.2.1. 4 将检查结果记录于附录A表A.1中

7.2.2人体模型放电短路电流参数

7.2.2.1按图4连接仪器。

图4人体模型放电短路电流参数校准连接框图

7.2.2.2选择被校设备测试座上引线最长的通道作为校准通道，将被校准通道（设置 为放电通道）与地端（设置为地通道）用短路线相连接并接入电流探头，电流探头正端 面向放电通道侧。数字示波器通过20dB衰减器与电流探头输出端相连。 7.2.2.3被校设备设置为人体放电模型，按表2设置放电电压。 7.2.2.4调节数字示波器的垂直刻度和水平刻度，使测量波形位于数字示波器恰当的 位置上。按图5、图6所示，测量短路电流峰值Ips、上升时间tr、脉冲持续时间td。 其中，峰值电流为数字示波器时间刻度在5ns/div下，波形下降趋势线的向上延伸与波 形上升沿的交汇点（图5中A点）处的电压V对应的电流值，短路电流峰值按公式 （1）计算。将结果记录于附录A表A.2中

图5人体模型放电短路电流峰值和上升时间参数

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7.2.2.5对于其他放电电压和极性的校准，重复步骤7.2.2.4。

图6人体模型放电短路电流脉冲持续时间参

图7人体放电模型500Q负载放电电流参数校准连接框图

7.2.3.2选择被校设备测试座上引线最长的通道作为校准通道，将被校准通道（设置 为放电通道）与地端（设置为地通道）用500Q电阻相连接并接入电流探头，电流探头 正端面向放电通道侧。数字示波器通过20dB衰减器与电流探头输出端相连。 7.2.3.3被校设备设置为人体放电模型，放电电压为1000V。 7.2.3.4调节数字示波器的垂直刻度和水平刻度，使测量波形位于数字示波器恰当的 位置上。按图8所示，测量负载电流峰值IpR、上升时间t，其中负载电流峰值按公式 （1）计算。将测量结果记入附录A表A.3中。 7.2.3.5对于其他放电电压和极性的校准，重复步骤7.2.3.4。 7.2.4机器模型放电短路电流参数 7.2.4.1按图4所示连接仪器。 7.2.4.2选择被校设备测试座上引线最长的通道作为校准通道，将被校准通道（设置 为放电通道）与地端（设置为地通道）用短路线相连接并接入电流探头，电流探头正端 面向放电通道侧。数字示波器通过20dB衰减器与电流探头输出端相连。 7.2.4.3被校设备设置为机器放电模型，按表3设置放电电压。

图8人体模型5002负载放电电流参数

7.2.4.4调节数字示波器的垂直刻度和水平刻度，使测量波形位于数字示波器恰当的 位置上。按图9所示，测量短路电流峰值电流Ipl、电流第二峰与第一峰之比Ip2/Ip1 （%）、电流谐振频率f。短路电流峰值按公式（1）计算，将校准结果记人附录A表 A.4中。

图9机器模型放电短路电流参数

7.2.4.5对于其他放电电压和极性的校准，重复步骤7.2.4.3～7.2.4.4。 7.2.5机器模型5002负载放电电流参数 7.2.5.1校准设备连接如图7所示。 7.2.5.2选择被校设备测试座上引线最长的通道作为校准通道，将被校准通道（设置 为放电通道）与地端（设置为地通道）用5002电阻相连接并接入电流探头，数字示波 器通过20dB衰减器与电流探头输出端相连。电流探头正端面向放电通道侧。

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7.2.5.3被校设备设置为机器放电模型，试验电压设置为400V。 7.2.5.4调节数字示波器的垂直刻度和水平刻度，使测量波形位于数字示波器恰当的 位置上。按图10所示，测量负载电流峰值Ipr和100ns处电流值I100，并将结果记入附 录A表A.5中

7.2.5.5对于一400V放电波形参数的校准，重复步骤7.2.

2.5.5对于一400V放电波形参数的校准，重复步骤7.2.5.4

7.2.6门锁模型放电施加电流

7.2.6.1校准设备连接如图11所示

图10机器模型5002负载放电电流波形参数

标准电阻器组测试夹转BNC同轴电纳

图11锁模型施加电流校准连接框图

7.2.6.2选择被校设备测试座上任一通道作为校准通道，将被校准通道设置为放电通 道，地端设置为地通道。被校设备设置为门锁放电电流输出模式。 7.2.6.3在被校设备输出电流范围内选取电流校准点，一般应包含：最小电流、最大 电流以及50mA，100mA，500mA，1000mA。 7.2.6.4根据设置电流选取标准电阻，阻值选择以保证电流I流过该电阻R产生电压 V在0.1V~5V之间为宜。 7.2.6.5数字示波器输入阻抗设置为1M2，并根据电压幅度选择合适的垂直刻度。 利用数字示波器测量电阻两端的电压，根据公式（2）计算施加电流校准值，将校准结 果记人附录A表A.6中。

式中： I电流幅值，A； V——数字示波器测量电压值，V； R—标准电阻阻值，2.

7.2.7闫锁模型放电施加电压/上升时间

7.2.7.1校准设备连接如图12所示

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测试夹转BNC同轴电缆

7.2.7.2选取被校设备测试座上任一通道作为被校准通道，该通道设置为放电通道， 另任选一通道设置为接地通道。被校设备设置为问锁放电电压输出模式。 7.2.7.3在被校设备输出电压范围内选取电压校准点，一般应包含最小电压、最高电 玉和中间点。 .2.7.4数字示波器输人阻抗设置为1M2，并根据电压幅度和上升时间选择合适的 垂直刻度和水平刻度。根据图3中的参数定义，利用数字示波器测量放电电压V和上 升时间t，将校准结果记人附录A表A.7中。 7.2.7.5对于不同的校准点，重复步骤7.2.7.4。

集成电路静电放电敏感度测试设备校准后，出具校准证书。校准证书至少应包含以 下信息： a）标题：“校准证书”； b）实验室名称和地址； c）进行校准的地点（如果与实验室的地址不同）； d）证书的唯一性标识（如编号），每页及总页数的标识； e）客户的名称和地址； f）被校对象的描述和明确标识； g）进行校准的日期，如果与校准结果的有效性和应用有关时，应说明被校对象的 接收日期； h）如果与校准结果的有效性应用有关时，应对被校样品的抽样程序进行说明； i）校准所依据的技术规范的标识，包括名称及代号； i）本次校准所用测量标准的溯源性及有效性说明：

k）校准环境的描述； 1）校准结果及其测量不确定度的说明； m）对校准规范的偏离的说明： n）校准证书或校准报告签发人的签名、职务或等效标识； o）校准结果仅对被校对象有效的声明； p）未经实验室书面批准，不得部分复制证书的声明

复校时间间隔由用户根据使用情况自行确定，推荐为1年

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表A.1外观及工作正常性检查

表A.2人体模型放电短路电流波形参数

表A.3人体模型500Q负载放电电流波形参数

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表A.4机器模型放电短路电流波形参数

表A.5机器模型5002负载放电电流波形参

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表A.6问锁模型施加电流

表A.7锁模型施加电压/上升时间

表B.1外观及工作正常性检查

表B.2人体模型放电短路电流波形参数

表B.3人体模型500Q负载放电电流波形参数

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表B.4机器模型放电短路电流波形参数

B.5机器模型5002负载放电电流波形参数

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表B.6问锁模型施加电流

表B.7白锁模型施加电压/上升时间

C.1短路电流峰值测量不确定度评定

C. 1. 1测量模型

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主要项且校准不确定度评定示例

根据短路电流峰值的校准原理，电流校准值由电流探头转换为电压参数，经衰减器 衰减后输入示波器进行测量。短路电流峰值，即为短路电流幅度的峰值，数学表达 武为：

式中： V 示波器测量电压值，V； 短路电流值，A； 电流探头的转换因子，A/V； kA——是衰减器的衰减比例（20dB，0.1)。 从式（C.1）获得相应变量的灵敏系数如下

C.1.2标准不确定度评定

以下以4kV为例进行测量不确定度的评定。在人体模型放电电压4kV处，对应 的示波器测量值为1.335V。 a）电流探头电流转换因子不准引人的标准不确定度分量u1 根据电流探头的技术指标，电流探头转换因子标称值为：5A/V，最大允许误差 为：±3%。为均勾分布，因此有：

A~0.0462A /3 /3

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b）固定衰减器衰减值不准引人的标准不确定度分量u2 根据502同轴衰减器的技术指标，衰减值为：20dB，换算为线性为：0.1。衰减 最大允许误差为土3%。为均匀分布，因此有：

0.1×3% A=1.335×20X A~0.0462A 3 /3

c）数字示波器的电压测量不准引入的标准不确定度分量u3 根据数字示波器的技术指标，其电压测量最大允许误差为土2%，服从均匀分布 数字示波器电压测量不准引入的测量不确定度分量为：

d）由测量重复性引人的标准不确定度分量u 在相同测量条件下，重复测量峰值电流10次，得到测量值见表C.1

表C.1峰值电流测量的10次重复测量值

.1.3合成标准不确定度

根据上述分析，峰值电流测量不确定度的分量汇总见表C.2

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表C.2人体模型峰值电流测量标准不确定度分

以上四个不确定度分量彼此不相关，所以合成标准不确定度可按下式得到：

取包含因k=2，扩展不确定度为：

扩展不确定度Uel=0.148A/2.81A=5.3

C.2上升时间tR测量不确定度评定

u。=/u+u2十u十u=0.074A

U=ku.=2u,=2X0.074A~0.148

上升时间校准，采用示波器上升时间测量功能直接测量，为峰值电流10%和90 值对应的时间间隔。测量模型为：

tR=t90%×/p=t10%×lm

t 一上升时间校准值，ns； t90%×p 短路电流波形中峰值电流90%幅值对应的时间值，nS； t10%×Ip 短路电流波形中峰值电流10%幅值对应的时间值，nS。 示波器电压测量不准会引起上升时间测量的阈值电压判定（10%和90%峰值电压 的不准确，从而引人测量不确定度分量。C.为示波器电压测量不准引起上升时间测量不 确定度的灵敏系数，由于短路电流上升时间的斜率基本保持不变，可认为10%辐值时 测量引人不确定度分量的灵敏度系数均为上升沿斜率倒数，因此阈值电压判定不准确引 人不确定度分量的灵敏度系数为：

C.2.2上升时间的标准不确定度

a）由示波器时间测量不准引入的标准不确定度分量u1 示波器上升时间测量的水平系数为5ns/div，分辨力为0.5ns，时间分辨力引人的 时间测量不确定度分量为0.25nS。10%电压值和90%电压阈值电流对应时间引人测 量不确定度分量正相关，因此由示波器时间测量不准引人的上升时间测量标准不确定度 分量为u=0.5ns。 b）由示波器电压测量不准引人的标准不确定度分量u2 对于人体模型4kV，对应的示波器测量电压为1.335V，上升时间校准值为

8. 12 ns. 则

c）由测量重复性引入的标准不确定度分量u3 在相同测量条件下，重复测量10次，得到的测量值见表C.3。

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8.12ns >12.3ns/V u(tv)=1.335VX1%~0.014V uz =c,Xu(tv)=0. 17 ns

表C.3上升时间测量的10次重复测量值

根据上述分析，上升时间测 确定度的分量汇总见表C.4。

JB/T 8941.2-2014 一般用途罗茨鼓风机 第2部分：性能试验方法表C.4人体模型上升时间测量标准不确定度分量表

C.2.4扩展不确定度

取包含因k2，扩展不确定度为：

相对扩展不确定度为：14%（k=2）

C.3脉冲持续时间tp测量标准不确定度

GB/T 30430-2013 气相色谱仪测试用标准色谱柱JF1238—2022

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