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GB／T 26069-2022 硅单晶退火片.pdf

6.1退火片导电类型的测试按GB/T1550的规定进行。 6.2退火片电阻率的测试按GB/T6616的规定进行。 6.3退火片厚度、总厚度变化及平整度、局部平整度的测试按GB/T29507的规定进行。 6.4退火片翘曲度的测试按GB/T32280的规定进行。 6.5退火片正表面的局部光散射体、划伤（微观）等的测试按GB/T19921的规定进行。 .6 退火片背表面光泽度的测试用光泽度仪进行。 .7 退火片的其他表面质量检验按GB/T6624的规定进行

6.8退火片表面金属含量的测试按GB/T39145的规定进行，或按供需双方协商确定的方法进行， 6.9退火片氧化诱生缺陷的检验按GB/T4058的规定进行。 6.10退火片体金属（铁）含量的检测按YS/T679的规定进行，或按供需双方协商确定的方法进行 6.11退火片洁净区宽度、体微缺陷密度的检验按供需双方协商确定的方法进行

.1产品由供方进行检验，保证产 及订货单的规定，并填写质量保证书。 检验，如检验结果与本文件或订货单的规定不符 在收到产品之日起三个月内以 由供需双方协商解决

退火片应成批提交验收，每批应由相同规格的退火片组成，组批方式也可由供需双方协商确定。

7.3.1每批退火片应对导电类型、电阻率、几何参数、表面质量、表面金属含量、氧化诱生缺陷进行 验验。

7.5.1导电类型的检验结果中有任意一片不合格时，判该批产品为不合格 7.5.2电阻率、厚度及允许偏差、总厚度变化、翘曲度、局部平整度、表面质量（目检）的接收质量限 （AQL）见表5，或由供需双方协商确定

7.5.1导电类型的检验结果中有任意一片不合格时，判该批产品为不合格。

表5退火片表面检测项目和接收质量限

JB/T 4366.3-2011 落地铣镗床 主轴端部 第3部分：主轴端面键尺寸GB/T260692022

c) 产品批号； d) 产品片数（盒数）； e) 各项参数检验结果和检验部门的印记； f) 出厂日期； g）本文件编号。

c）产品批号； d）产品片数（盒数）； E 各项参数检验结果和检验部门的印记； f) 出厂日期； g）本文件编号

a）产品名称； b）产品技术要求； 产品数量； d) 本文件编号； e）其他。