标准规范下载简介：

内容预览由机器从pdf转换为word，准确率92%以上，供参考

GB／T 41325-2022 集成电路用低密度晶体原生凹坑硅单晶抛光片.pdf

氧化诱生缺陷的检验按GB/T4058的规定进行。 10表面微粗糙度的检验按GB/T29505的规定进行。 11表面纳米形貌的检验按SEMIM43的规定进行。 12近边缘几何形态的评价按SEMIM67或SEMIM68或SEMIM70或SEMIM77的规定进行

6.1.1产品应进行检验，供方应保证产品质量符合本文件及订货单的规定。 6.1.2需方可对收到的产品进行检验。若检验结果与本文件规定不符时，应在收到产品之日起三个月 内以书面形式向供方提出，由供需双方协商解决

COP抛光片应成批提交验收，每批应由相同规格

5.1导电类型的检验结果中有任意一片不合格时，判该批产品为不合格。 5.2电阻率、厚度及允许偏差、总厚度变化、弯曲度、翘曲度、总平整度、局部平整度、表面质量的接 量限（AQL）按表4的规定进行，或由供需双方协商确定。

GB/T41325—2022

表4接收质量限（续）

光散射体、表面金属、体金属（铁）含量、氧化诱生缺陷、表面微粗糙度、表面纳米形貌、近边 检验结果的判定由供需双方协商确定

包装、标志、运输、购存和随行文件

a) 供方名称； b) 产品名称； C) 产品数量； d）“小心轻放”“防潮”“易碎”“防腐”标志或字样

出厂日期； g) 本文件编号。

需方宜根据自身的需要，在订购本文件所列产品的订货单内CNAS RL03：2013 实验室和检查机构认可收费管理规则，列出以下内容： a）产品名称； b) 产品技术要求； 产品数量； 本文件编号： e 本文件中要求在订货单中注明的内容； f) 其他。

需方宜根据自身的需要，在订购本文件所列 a）产品名称； b）产品技术要求； c）产品数量； d）本文件编号； 2 本文件中要求在订货单中注明的内容； f) 其他。

GB/T413252022