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JB／T 10033-2018 测微头

5.2.1测微头的量程宜为：6.5mm、13mm、15mm、25mm、50mm。 5.2.2测微头测微螺杆的移动应平稳、灵活，不应有卡滞现象。 5.2.3测微头的测微螺杆的轴向窜动量和径向间隙量不应大于0.01mm。 5.2.4当测微头具有调零装置时，其零位应能便于准确、可靠地调整。

按GB/T1216—2018中5.2的规定

按GB/T1216—2018中5.2的规定。

按GB/T1216—2018中5.9的规定

GB/T 25753.4-2015 真空技术 罗茨真空泵性能测量方法 第4部分：噪声的测量按GB/T1216—2018中5.9的规定

5.5标尺标数及零位标尺标记重合度

5.5.1若无特殊要求，固定套管上应每隔5个标尺标记刻写一个标尺标数，并且标尺标数应与测微 的位移量相吻合。 5.5.2标尺模拟读数的测微头，其“零”标尺标记和尾标尺标记与微分筒上相应标尺标记的重合度 应大于表1的规定。

5.6.1测微头应具有测微螺旋副磨损后的调整装置，并配备有调整工具；测微头可按要求设置有测力 装置及零位调整装置。 5.6.2零位调整装置和测微螺旋副磨损后的调整装置，应能方便用户自已操作。 5.6.3移动计数器数字读数测微头的测微螺杆时，其计数器应按顺序进位、无错乱显示现象；除去尾 码，其他数字码的中心在不进位时应在平行于测微螺杆轴线的同一直线上。 5.6.4当测微头具有标尺模拟读数和计数器数字读数两种读数形式时，对“零”后，在量程内任意位 置上，计数器读数值与标尺模拟读数值的差值不应大于0.003mm。

5.6.1测微头应具有测微螺旋副磨损后的调整装置，并配备有调整工具；测微头可按要求设置有测 装置及零位调整装置。 5.6.2零位调整装置和测微螺旋副磨损后的调整装置，应能方便用户自已操作。 5.6.3移动计数器数字读数测微头的测微螺杆时，其计数器应按顺序进位、无错乱显示现象；除去 码，其他数字码的中心在不进位时应在平行于测微螺杆轴线的同一直线上。 5.6.4当测微头具有标尺模拟读数和计数器数字读数两种读数形式时，对“零”后，在量程内任意 置上，计数器读数值与标尺模拟读数值的差值不应大于0.003mm

JB/T100332018

JB/T100332018

10N，测量力的变化不应

5.8.1测微头的测量面为平面时，宜镶装硬质合金或其他耐磨材料。 5.8.2测量面为平面时的平面度误差不应大于0.6μm（在距测量面边缘0.4mm范围内不计）。 5.8.3平测量面对测微螺杆轴线的垂直度误差不应大于0.002mm。 5.8.4测微头测量面的硬度、表面粗糙度应符合表2的规定

表2硬度、表面粗糙度

5.9示值最大允许误差（MPE）

测微头的示值最大允许误差不应大于表3的规定。

测微头的示值最大允许误差不应大于表3的规定。

表3示值最大允许误差

程误差一般不作要求：当合同有要求时，测微头的回

检查前，被检测微头及其检验用工具在温度为（20土5）℃的环境中进行平衡温度， 间不应少于2h

查前，被检测微头及其检验用工具在温度为（20土5）℃的环境中进行平衡温度，其平衡温度时 少于2h。

目力观察，必要时借助放大镜观察。

目力观察，必要时借助放大镜观察

手感、目测及试验。如有异议，按GB/T1216一2018中6.4的规定

目测及借助放大镜、工具显微镜进行检查。

7.4标尺标数及零位标尺标记重合度

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7.5.1零位调整装置及测微螺旋副磨损后的调整装置以目测和试验的方法进行检查。 7.5.2计数器数字读数装置的检查可采用目测和试验。可先对“零”后，以微分筒刻线为基准，抽检 量程内的3～5个位置，将微分筒刻线与固定套管上的轴向刻线对齐，读数字显示值。计数器读数值 标尺模拟读数值的差值不应大于0.003mm

.5.1零位调整装置及测微螺旋副磨损后的调整装置以目测和试验的方法进行检查。

测量力用分度值不大于0.2N、准确度等级为2.5级的专用测力仪或字盘秤借助专用装置进

7.7.1平测量面的平面度采用2级平面平晶进行检查。检查时应调整平面平晶，使被检测量面上的干 步带或干涉环的数目尽量少或使其产生封闭的干涉环。平面度误差与干涉带数目n间的关系式见公式 （1）。

式中： s——测量面的平面度误差，单位为微米（um)； n—干涉带或干涉环的数目； a——光波波长，约等于0.6μm。

n一干涉带或干涉环的数目； 入一光波波长，约等于0.6μm。 经公式（1）计算出的测量面平面度误差的数值不应大于规定值。 7.7.2检查平测量面对测微螺杆轴线的垂直度时，可将测微头固定在专用的V形块（架）上，用垂直 度检查仪在测量面上取不同的3或4个直径方位进行检查，取其中的最大值作为检查结果。或：采用自 准直类仪器进行检查，先调正专用V形块（架）的对称轴线与自准直类仪器光轴同轴，将测微头置于 V形块（架）上，由自准直类仪器读得偏差值，并经计算得出测量面垂直度误差。 也可采用满足不确定度要求的其他方法进行检查。 7.7.3检查测量面的硬度时，对于未镶装硬质合金或其他耐磨材料的测量面，可在距测量面2mm~ mm的外圆周上各取三个均布点，用维氏硬度计（或落氏硬度计）进行检查，取三点测得值的算术平 均值作为测量结果（可仅在生产过程中进行）。 对于镶装硬质合金或其他耐磨材料的测量面，其硬度可不做检查。

检查测微头的示值误差时，将被检 并在测微螺杆测量面中心对面处安装 一个具有球形测量面的临时固定测砧，使测微头测量面与临时固定测砧接触并校准零位，如本标准图。 所示。

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图4示值误差检查示意图

然后，分别用尺寸符合本标准表4规定的 组量块进行检查（示值最大允许误差值小于或等于 .002mm的用3等或1级量块；示值最大允许误差值大于0.002mm的用4等或2级量块），以零标 志点作为固定零点，取测微头各受检点中的示值与相应量块尺寸之差值作为该受检点的示值误差，取 各受检点示值误差绘制误差曲线，取曲线中的最大正误差和最大负误差的绝对值之和为示值误差范围 （最大浮动零点误差），其值不应超过本标准表3的规定值。 测微头的合格或不合格判定应遵循GB/T18779.1一2002的规则

检查测微头的回程误差时，采用光栅指示表（分辨力不应大于0.1μm、回程误差应小于0.2μm、 量程应大于被检测微头量程）或满足要求的其他指示表进行检查。将被检测微头与光栅指示表紧固安放 在专用检具上（见图5），使光栅指示表有一少许的压缩量，将光栅指示表和测微头同时置“零”；在测 微头的量程范围内选取均匀分布的35个检查点，从正、反行程方向移动测微螺杆至同一检查点，在 光栅指示表上读取数值；同一检查点的正、反行程的光栅指示表上读数值之差GWJ 009-2016 无线电管理频率数据库结构技术规范，即为检查点的回程误差； 取各检查点的回程误差的最大值作为测微头的回程误差，其值不应大于5.10的规定。

8.1测微头上应标志：

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图5回程误差检查示意图

a）制造厂名称或商标； b）分度值或分辨力； c）量程； d）产品序号。 8.2测微头的包装盒上应标志： a）制造厂名称或商标； b）产品名称； c）量程； d）分度值或分辨力。 8.3测微头应经过防锈处理后再妥善包装，不得因包装不善而在运输过程中损坏

3.2测微头的包装盒上应

8.3测微头应经过防锈处理后再妥善包装，不得因包装不善而在运输过程中损坏。 8.4测微头经检查符合本标准要求的应附有产品合格证，产品合格证上应标有本标准编号、产品序号 和出厂日期。

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