标准规范下载简介：

内容预览由机器从pdf转换为word，准确率92%以上，供参考

GB／T 41805-2022 光学元件表面疵病定量检测方法 显微散射暗场成像法.pdf

长擦痕的尺寸主要包括长度和宽度，由于GB/T1185一2006规定长宽比大于160：1的排 擦痕，因此长擦痕的长度L可近似用擦痕周长的一半来表示，具体见公式（4）：

麻点尺寸主要包括麻点直径d，可按公式(6)计算： d=2k√N/ 式中： 麻点直径，单位为毫米（mm）； 拟合直线斜率，记为定标系数； N 疵病像素面积，单位为像素（Pixel）

报告应至少包括以下内容： a） 采用标准； b） 试验时间、报告时间； c） 2 样品信息（产品类型、样品编号、送检单位)； d 2 比较标板有关信息； e 2 测试仪器； D 疵病类别、数量、尺寸及症病级次； g 1 检测环境条件； h） 检测单位和检测人员。

附录A （规范性） 检测重复性与相对误差测量方法

二级公路沥青混凝土上面层施工组织设计检测重复性与相对误差测量方法

利用试验设备对某平板玻璃进行实际测试，每次测量结束后重新调整，并按原扫描路径重新测 量，测量10次，检测重复性为10次测量中，平板玻璃表面的疵病总面积与10次测量总面积平均值的相 对偏差的最大值，见公式（A.1)。

式中： Einspetion 检测重复性； max 取最大值函数； i 测量序号； S. 第i次测量的元件表面症病总面积，单位为像素（Pixel)； S 10次测量得到的元件表面疵病总面积平均值，单位为像素（Pixel)。

检测的相对误差为对某一已知尺寸参数的症病，重复10次测量中，尺寸测量值与已知真实值相对 偏差的最大值，见公式（A.2）。

尺寸测量相对误差； max 取最大值函数； ， 测量序号； wj 同一疵病第i次测量 Wreel 疵病的真实尺寸，单

Eprecisior 尺寸测量相对误差； max 取最大值函数； ， 测量序号； Wj 同一疵病第j次测量得到的尺寸，单位为毫米（mm）； 疵病的真实尺寸，单位为毫米（mm）。

精密光学元件表面的尺寸大多位于十至几十毫米之间，受显微镜视场大小的限制，大多数情况下无 法通过一次成像实现元件表面的全覆盖检测。所以在进行大口径元件检测的时候，需引人子孔径扫描 和拼接技术，扫描和拼接的布局三维示意如图B.1所示，具体步骤见B.2～B.4。

a）方形元件子孔径扫描过程二维图

孔径扫描过程二维图 b）圆形元件子孔径扫描过

b）圆形元件子孔径扫描过程二维图

GB 3836.1-2010标准下载图B.1X、Y方向子孔径扫描及拼接示意图

图B.1a)和b)所示分别为方形和圆形元件的子孔径扫描过程二维图，取元件外接矩形的左上角顶 点为检测起始点。

图B.1a)和b)所示分别为方形和圆形元件的子孔径扫描过程二维图，取元件外接矩形的左上角 检测起始点。

GB/T 41805 2022

首先检测A1.1和A1.2之间的重叠区域，如果有连续症病特征存在，则对这两块子孔径图像通过特征 匹配方法进行拼接；如果没有特征存在，则按照导轨移动的步进距离，换算为子孔径图像的像素数，对两 幅图像按重叠像素数进行拼接。然后再检测A1.2与A1.3之间的重叠区域，以此类推，将所有子孔径图像 拼接成覆盖元件全表面的显微图像。

GB/T 41805—2022

比较标板常用的疵病标样参数见GB/T1185一2006中C.4。比较标板使用透明光学材质，制作透 明的疵病标样。 建议采用微纳加工的方法制作基本级数在0.1以下的疵病标样，以石英作基底为例，加工流程如图 C.1所示，图C.2为宽度为0.014mm的擦痕电镜图像，图C.3为一个比较标板制作样例的显微散射暗 场图像。

图C.1精密比较标板加工流程图

某团体办公楼工程给排水施工方案图C.2 宽度为0.014mm的擦痕的扫描电镜图像