GB／T 39145-2020标准规范下载简介：

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GB／T 39145-2020 硅片表面金属元素含量的测定 电感耦合等离子体质谱法.pdf

10.1.1按仪器操作说明初步设定仪器工作条件，用调谐液调整仪器，在测试元素的离子计数的同时， 对仪器工作条件进行优化、调谐，以达到最佳灵敏度的测试条件， 10.1.2测试超纯水中各待测金属元素的含量，确认设备的可靠性与稳定性。 10.1.3各待测元素质量数的选择参见表1

表1待测元素的质量数

至少独立地测定三次，取三次测试结果的算术平均值

10.4校准曲线的绘制

.1用洁净的容量瓶与分析天平，配制不同质量浓度的系列标准溶液。所配制的系列标准溶液 度值应尽量接近扫描溶液中待测元素的质量浓度值。例如，扫描溶液中待测金属元素质量浓度 0.50μg/L，可分别取0μL、50μL、100μL、200μL、500μL、1000μL的混合元素标准溶液（各待 质量浓度为10mg/L），用超纯水定容至100mL，此系列标准溶液中各元素的质量浓度分别

QPCW 0001S-2015 普洱茶王茶业集团股份有限公司 含茶制品GB/T391452020

μg/L、0.05μg/L、0.10μg/L、0.20μg/L、0.50μg/L、1.00μg/L。 .4.2在电感耦合等离子体质谱仪上对系列标准溶液中各待测元素质量浓度进行测试，以系列标 液中各元素信号值为纵坐标，各元素的质量浓度为横坐标做校准曲线。校准曲线的线性相关系数 于0.999。

在电感耦合等离子体质谱仪上，按表1推荐的质量数，分别对空白试液（提取液）和分析试液（扫描 容液）进行测试。仪器根据校准曲线，自动进行数据处理，计算并输出空白试液和以空白试液为参比的 分析试液中各待测元素的质量浓度

11.1硅片表面各待测金属元素的含量按式（1)计算

试验报告应包括下列内容： a）试样信息：送样单位、送样日期、样品名称、规格、编号； b）仪器型号、品牌； C）测试环境； d）试样处理方法（VPD或DADD)及时间； e）试样收集方法（手动法或自动法）及扫描区域； f） 测试结果：待测金属元素含量及其检出限； g）测试日期、测试者、审核者； 本标准编号；