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GB51136-2015 薄膜晶体管液晶显示器工厂设计规范.pdf

将已制备好的薄膜晶体管液晶显示器阵列玻璃基板和彩色滤 光片玻璃基板组装到一起，使两块玻璃基板之间充有液晶材料，加 上适应的电场即可进行图像显示的液晶盒（屏）的工艺过程、

2. 0. 7 空间管理

TCBJ 003-2016 固态法酱香型白酒原酒pacemanagemen

为有效利用空间、缩短工作流程，对天到整个厂区的建筑物布

高、地下管线规划，小到一栋建筑物内部各个专业间的配置协调而 进行的设计

在气相中对基板表面、被蚀刻物质进行刻蚀的方法。 2.0.9等离子体增强化学气相沉积 plasmaenhanced chemi calvapordeposition(PECVD) 利用等离子体的活性促进反应，能在较低温度下进行化学气 相沉积法的反应。

3.0.1薄膜晶体管液晶显示器工厂设计应合理利用资源，保护环 境，防止和减少在生产建设活动中产生的废气、废水、废液、废渣、 粉尘以及噪声、振动、电磁波辐射对环境的污染和危害。

1根据生产工艺的特点，应采用节能环保的新技术、新设备、 新材料； 2应满足设备安装、调试检修、安全生产、维扩管理的要求： 3应采取措施满足消防安全的要求； 4 应采取节约能源措施； 5应满足薄膜晶体管液晶显示器生产所需要超大空间洁净 环境的要求。 3.0.3薄膜晶体管液晶显示器生产线的设计能力应符合经济规 模的要求，设计中应根据企业发展规划为今后生产发展或工艺改 进预留条件。

4. 1. 1 工艺设计应符合下列规定:

4.1.1工艺设计应符合下列规定： 1 应确保生产效率和产品质量； 2应预防和减少职业病危害因素对劳动者健康的损害和影 响，降低工人劳动强度； 3应具有灵活性和适应性： 4 应有利于降低工程造价和运行费用。 4.1.2工.艺设计中所确定的生产空间及其布置、生产环境参数和 动力供应要求应满足工艺生产的要求，并应为生产技术的升级改 造预留必要的条件。

4.1.3与生产工艺直接相

组织方式其他辅助生产部门的工作班次可根据生产需要

4.2.1生产加工工序可按本规范附录A所列各段工序内容和流 程确定。 4.2.2生产的主要工序应完整、配套，阵列、彩膜和成盒工序段宜 设置在同一厂区内。 4.2.3工厂中应设置与主生产工艺有关的辅助生产和有关技术 服务设施

程确定。 4.2.2生产的主要工序应完整、配套，阵列、彩膜和成盒工序段宜 设置在同一厂区内。 4.2.3工厂中应设置与主生产工艺有关的辅助生产和有关技术 服务设施。

设置在同一厂区内。 4.2.3工厂中应设置与主生产工艺有关的辅助生产和有关技术 服务设施。

4.2.3工厂中应设置与主生产工艺有关的辅助生产和有

4.3.1阵列、彩膜和成盒工艺段核心生产区域的工艺区划应符合

4.3.1阵列、彩膜和成盒工艺段核心生产区域的工艺区划应符合 下列规定：

1工艺区划应根据工艺特点和环境要求进行组合，且宜采用 叠层布置。 2工艺区划应避免工艺设备之间振动、电磁辐射、热辐射和 空气污染的影响。 3进入生产区的人流和物流入口应分别设置，并应设置相应 人身和物料净化设施。 4生产区域应设置设备搬人口和搬入通道；生产区域设备安 装平面高于室外地坪1.5m以上时，应设置设备吊装搬人平台。 5各工艺段内的工艺设备应依工艺流程并按工序集中的原 则进行布置。 6生产辅助部门中与生产密切联系的部门应靠近生产区。 4.3.2生产区设置参观设施时，参观区域及其通道的环境应与生 产环境隔离，并应保证生产区域物流和久员疏散通道的通畅。 4.3.3工厂中应设有原、辅材料和废料仓储设施，库房设置应符 合下列规定： 1根据所存储物料的物理化学特性和存储环境要求，应 分类设置各类库房。其中化学品的物理化学特性应以有关化 学品供应商提供的化学品安全数据说明书为准，化学品储存区 域的设计应符合本规范第13.2.1条～第13.2.6条的有关规 定。 2主要原辅材料和产品库房应设装卸货平台。 4.3.4核心生产区域设有技术夹层时，应在技术夹层设置设备搬 运和检修通道。

4.4.1生产设备和辅助设备的选择应符合现行国家标准《电子工 业洁净厂房设计规范》GB50472的有关规定，且宜采用自动化程 度高、耗能低、排放少的设备。 4.4.2阵列、彩膜和成盒工序应采用玻璃基板卡匣或其他专用工

4.4.2阵列、彩膜和成盒工序应采用玻璃基板卡或其他专用工

装搬运产品，批量生产线宜采用全自动物料搬送系统。生产区采 取多层布置方式时，跨层生产区之间的产品搬运宜设置自动垂直 运输设备。

4.4.3化学气相沉积和物理气相沉积设备安装区域应配置洁净

4.4.3化学气相沉积和物理气相沉积设备安

室专用的检修起重设备

5.1.1厂址选择应符合T业布局和地区建设规划的要求，应按建

5.1.1厂址选择应符合T业布局和地区建设规划的要求，应按建 设规模、原材料来源、交通运输、供电、供水、供气、工程地质、企业 协作条件，场地现有设施、环境保护和产品市场流向各因素进行技 术经济比较后确定。

5.1.2厂址选择应符合下列规定

1应避免生产的危险或有害因素对周边人群居住或活动环 境产生影响； 2应避开大气含尘量高及含有对工艺生产有影响的化学物 质的区域； 3建设场地环境的振源和振动值不得对工艺生产造成不利 影响。 5.1.3厂址应具有满足生产生活及发展规划所必需的水源、电源 和燃气，输电、输水线路应短捷、可靠。 5.1.4厂址选择应满足企业远期发展规划的需要。 5.1.5T.程地质、水文复杂的地带和抗震设防烈度高于8度的地 区及具有开采价值的矿藏区不得选为厂址 5.1.6薄膜晶体管液晶显示器工厂应按现行国家标准《防洪标 准》GB50201的I级防洪标准设计，场地设计标高应高于设计频 率水位0.5m。

5.1.4厂址选择应满足企业远期发展规划的需要

5.1.6薄膜晶体管液晶显示器工厂应按现行国家标准《防洪标

5.1.6薄膜晶体管液晶显示器工厂应按现行国家标准

准》GB50201的I级防洪标准设计，场地设计标高应高于设计频 率水位0.5m。

5.2.1T厂的总体规划应符合所在地区的规划要求，并应有利于

5.2.1T厂的总体规划应符合所在地区的规划要求，并应有利于 联合同邻近工业企业在交通运输、动力设施、综合利用和生活设施

5.2.2工厂的总平面布置应符合下列规定：

.2.2的总平面布直应付合下列规定： 1总平面布置应符合生产工艺流程及微振控制要求。生产厂 房根据生产工艺特点和各种功能区的具体要求，宜联合多层布置。 2生产区、动力辅助区、仓储区和办公、生活区各功能区域应 合理布置。各种辅助和附属设施宜邻近其服务的车间，动力供应 设施宜接近负荷中心。 3建筑物外形宜规整，行政办公及生活设施宜集中设置。 4原料物料的运输路线应短捷、方便，并应避免物流与人流 交叉干扰。 5.2.3改建、扩建的薄膜晶体管液晶显示器工厂总平面设计 应合理利用现有设施，并应减少改建、扩建工程对生产的影响。 5.2.4对于有微振控制要求的厂房，应实际测量周围现有振源和 模拟振源的数值，并应与充许振动值比较分析后确定位置选择。 5.2.5储存易燃、易爆、有毒物品的库房、储罐、堆场宜布置在场 区全年最小频率风向的上风侧，并应远离火源、主要建（构）筑物和 人员集中的地带。储存液态介质的储罐四周应按现行国家标准 《建筑设计防火规范》GB50016的有关规定设置防止事故泄漏的 防火堤、防护墙或围堰。储存区宜设置围墙和专用出人口。 5.2.6储存易燃、易爆、有毒物品的库房、储罐、堆场与建筑及道 路的间距应符合现行国家标准《建筑设计防火规范》GB50016的 有关规定。 5.2.7厂区的竖向设计宜充分利用原有地形，减少土石方。当采 用阶梯布置时，生产联系密切的建筑物、构筑物应布置在同一台阶 或相邻台阶上。 5.2.8厂区给水、排水、循环水及电缆等管线宜选用地下敷设方 式，厂区易燃、可燃液体、燃气、热力、压缩空气、大宗气体、特种气 体等管线宜选用地上管架敷设方式，地上、地下管道的布置应符合 现行国家标准《T.业企业总平面设计规范》GB50187的有关规定

1总平面布置应符合生产工艺流程及微振控制要求。生产厂 房根据生产工艺特点和各种功能区的具体要求，宜联合多层布置。 2生产区、动力辅助区、仓储区和办公、生活区各功能区域应 合理布置。各种辅助和附属设施宜近其服务的车间，动力供应 设施宜接近负荷中心。 3建筑物外形宜规整，行政办公及生活设施宜集中设置。 4原料物料的运输路线应短捷、方便，并应避免物流与人流 交叉干扰。

区全年最小频率风向的上风侧，并应远离火源、主要建（构）筑物 人员集中的地带。储存液态介质的储罐四周应按现行国家标 《建筑设计防火规范》GB50016的有关规定设置防止事故泄漏 防火堤、防护墙或围堰。储存区宜设置围墙和专用出人口

5.2.6储存易燃、易爆、有毒物品的库房、储罐、堆场与建筑及

路的间距应符合现行国家标准《建筑设计防火规范》GB50016 有关规定。

5.2.7厂区的竖向设计宜充分利用原有地形，减少土石方。当 用阶梯布置时，生产联系密切的建筑物、构筑物应布置在同一台 或相邻台阶上。

5.2.8厂区给水、排水、循环水及电缆等管线宜选用地下

5.2.8厂区给水、排水、循环水及电缆等管线宜选用地下敷设方 式，厂区易燃、可燃液体、燃气、热力、压缩空气、大宗气体、特种气 体等管线宜选用地上管架敷设方式，地上、地下管道的布置应符合 现行国家标准《工业企业总平面设计规范》GB50187的有关规定

体等管线宜选用地上管架敷设方式，地上、地下管道的布置应符合 现行国家标准《T业企业总平面设计规范》GB50187的有关规定。

6.1.1厂房的建筑平面和空间布局应适应产品生产发展的灵活 性，并应满足生产工艺改造和扩大生产规模的要求。 6.1.2薄膜晶体管液晶显示器丁厂生产厂房、办公楼、动力厂房 之间的人流、物流宜采用连廊进行联系。 6.1.3厂房洁净生产区内不宜设置变形缝。 6.1.4生产厂房围护结构材料的选择应满足生产对环境的气密 保温、隔热、防火、防潮、防尘、耐久、易清洗的要求。 6.1.5厂房围护结构传热系数限值应符合现行国家标准《电子T 程节能设计规范》GB50710的有关规定。外墙、外窗、屋面的内表 面温度不应低于室内空气露点温度。 6.1.6厂房应根据工艺及动力设备需要设置设备搬人口及设备 搬入平台。 6.1.7厂房内应设置工艺设备、动力设备的搬入及运输安装通道 通道宽度应满足人员操作、物料运输、设备安装、检修的要求。 6.1.8洁净区内位于搬运通道的高架地板应满足设备搬运荷载 要求。 6.1.9厂房室内装修应符合现行国家标准《建筑内部装修设计防 火规范》GB50222和《电子工业洁净厂房设计规范》GB50472的 有关规定。

6.2.1薄膜晶体管液晶显示器工.厂厂房的耐火等级不应低于二 级。

6.2.2厂房各工作间生产的火灾危险性分类应符合现行国家 准《建筑设计防火规范》GB50016和《电子工业洁净厂房设计 范》GB50472的有关规定

6.2.3厂房内防火分区的划分应符合现行国家标准《建筑设计防

火规范》GB50016和《电子工业洁净厂房设计规范》GB50472的 有关规定。阵列、成盒、彩膜、模组厂房的洁净室，在关键工艺设备 自带火灾报警和灭火装置以及在回风气流中设有灵敏度严于 0.01%obs/m的早期烟雾探测系统后，其每个防火分区的最大允 许建筑面积可按生产工艺要求确定

6.2.4厂房安全出口的设置应符合下列规定：

1安全出口数目应符合现行国家标准《建筑设计防火规范》 GB50016和《电子工业洁净厂房设计规范》GB50472中的有关规 定。 2厂房内任一点到最近安全出口的距离应符合现行国家标 准《建筑设计防火规范》GB50016和《电子工业洁净厂房设计规 范》GB50472的有关规定。 3阵列、成盒、彩膜、模组厂房，在关键工艺设备自带火灾报 警和灭火装置以及回风气流中设有灵敏度严于0.01%obs/m的 高灵敏度早期火灾报警探测系统后，安全疏散距离不得大于本条 第2款规定的安全疏散距离的1.5倍。当洁净生产区人员密度小 于0.02人/m²时，安全蔬散距离不得大于120m。 4：阵列、成盒、彩膜、模组厂房，当洁净生产区人员密度小于 0.02人/m²，且洁净生产区与技术支持区位于不同的防火分区时， 可共用安全出口，安全出口应设置共用前室或安全通道。

6.2.5当洁净厂房的洁净区各层靠外墙布置时，应设可供消防人

员通往厂房洁净区的门窗，其洞口间距大于80m时，应在该段外 墙的适当部位设置专用消防口。专用消防口的设计应符合现行国 家标准《洁净厂房设计规范》GB50073的有关规定。 6.2.6穿过不同生产楼层的自动化垂直搬运系统除物料进、出口

6.2.6穿过不同生产楼层的自动化垂直搬运系统除物料

外，应采用耐火时间不低于0.4h的不燃材料封闭，物料进、出口防 火措施应按本规范第10.6.6条的有关规定执行。 6.2.7易燃、易爆化学品及气体的配送间应靠外墙布置，房间泄 压面积应符合现行国家标准《建筑设计防火规范》GB50016的有 关规定，不得设置在人员密集房间和疏散走道的上方、下方或贴 邻。

6.2.8易燃、易爆化学品储存间、配送间应采用不发生火

静电地面，腐蚀性化学品储存间、配送间应采用防腐蚀地面

7.1.1阵列、彩膜、成盒厂房的建筑工程抗震设防类别宜采用重 点设防类。 7.1.2阵列、彩膜、成盒厂房工艺楼层梁的间距或无梁楼盖厚板 上洞口的间距宜符合600mm的模数。 7.1.3阵列、彩膜、成盒厂房结构设计应满足工艺设备的微振动 控制标准。 7.1.4厂房上部结构与基础之间不应设置橡胶隔震支座。

构。 7.2.2生产厂房核心区结构与周边的支持区、办公区结构之间宜 设置伸缩缝。 7.2.3 核心区的楼层结构与支承屋面的主体结构间不宜设置伸 缩缝。 7.2.4 厂房的屋盖系统根据其开间和跨度大小可采用下列结构 形式： 1 现浇钢筋混凝土屋盖； 2 钢梁加钢楼承板的现浇钢筋混凝土屋面； 3 钢屋架、钢梁加钢楼承板的现浇钢筋混凝土屋面； 4 有保温层的压型钢板轻型屋面。

1 现浇钢筋混凝土屋盖； 2 钢梁加钢楼承板的现浇钢筋混凝土屋面； 3 钢屋架、钢梁加钢楼承板的现浇钢筋混凝土屋面： 4 有保温层的压型钢板轻型屋面。 7.2.5 生产厂房核心区不应设置伸缩缝时，应采取措施减少温度

7.2.5生产厂房核心区不应设

撑。 7.2.7楼层使用荷载标准值应根据设备的布置、重量和基座平台 的做法确定。 7.2.8楼板及屋盖的吊挂荷载应根据吊挂层的做法、管道及设备 的布置等因素确定。 7.2.9厂房结构整体抗震计算中，建筑的重力荷载代表值宜按楼 层的实际设备荷载情况确定。 7.2.10厂房结构计算应根据设备的实际布置范围、运输安装情 况，验算局部的梁、柱、基础满足正常使用极限状态和承载能力极 限状态的要求。 7.2.11生产厂房结构整体计算时，应采用楼层框架梁的实际抗

7.2.8楼板及屋盖的吊挂荷载应根据吊挂层的做法、管道及

7.2.10厂房结构计算应根据设备的实际布置范围、运输安装情 况，验算局部的梁、柱、基础满足正常使用极限状态和承载能力极 限状态的要求。

7.2.11生产厂房结构整体计算时，应采用楼层框架梁的实际抗

7.2.11生产厂房结构整体计算时，应采用楼层框架梁的实际抗 弯刚度进行结构分析

7.2.12生产厂房核心区楼层的钢筋混凝土梁不宜采用预应力结

7.2.13核心区的厂房结构采用钢筋混凝土结构时，钢筋混凝土 的梁角、柱角宜采用切角做法

7.2.14T.艺生产楼层的钢筋混凝土梁或钢梁梁顶的平整度应满

足2m内不大于2mm，50m内不大于25mm的要求。 7.2.15厂房内的参观走道宜采用钢结构。 7.2.16设备的基础不应跨越伸缩缝

足2m内不大于2mm，50m内不大于25mm的要求。

7.3.1有微振控制要求的工艺设备应由制造厂商提供设备台座 处的振动评价方法、微振动控制标准及要求。 7.3.2有微振控制要求的工艺设备的支承面振动值应在相应微 振动标准曲线以下。微振动标准曲线可按本规范附录B采用。 7.3.3曝光机、涂布机等工艺设备应满足生产厂商对设备支承部 位的动态刚度标准值要求，

间应设置伸缩缝，缝宽不宜大于10mm

7.5.4基座平台的基本频率应避开其下支承结构的基本频 率。

8.1.1工厂人工冷、热源宜采用集中设置的冷（热）水机组和供 热、换热设备。机型和设备应根据T厂所在地区的气候、能源结 构、政策、价格及环保规定选择，并应符合下列规定： 1热源应优先采用工厂余热和城市、区域供热； 2具有城市工业燃气供应的地区，可采用燃气锅炉、燃气热 水机组供热或燃气吸收式冷（热）水机组供冷、供热： 3无上述能源供应的地区，可采用燃油锅炉供热，电动压缩 式冷水机组供冷和燃油吸收式冷（热）水机组供冷、供热； 4在夏热冬冷地区、干旱缺水地区的办公楼等建筑可采用空 气源热泵或地源热泵冷（热）水机组供冷、供热： 5有天然水等资源可以利用时，可采用水源热泵冷（热）水机 组供冷、供热。 8.1.2、在同时需要供冷和供热的T况下，冷水机组宜根据负荷要 求选用热回收机组，并宜采用自动控制的方式调节机组的供热量 8.1.3：冷、热源设备台数和单台容量应根据全年冷、热负荷工况 合理选择，并宜保证设备在满负荷和部分负荷工况下均能安全、高 效运行。

8.1.3冷、热源设备台数和单台容量应根据全年冷、热负

8.1.4过渡季节或冬季需用一定量的供冷负荷时，宜利用冷却塔

空调用冷冻水温度的前提下，应加大冷冻水供、回水温差和提高冷 水机组的出水温度。

8.1.7冷水机组的能效比不应低于现行国家标准《冷水机组能效 限定值及能源效率等级》GB19577的规定值，并应优先选用能效 比高的设备。

8.1.7冷水机组的能效比不应低于现行国家标准《冷水机组能效 限定值及能源效率等级》GB19577的规定值，并应优先选用能效 比高的设备。 8.1.8电动压缩式冷水机组的选型应符合现行国家标准《工业建 筑供暖通风与空气调节设计规范》GB50019的有关规定。 8.1.9燃油燃气锅炉应选用带比例调节燃烧器的全自动锅炉，且 每台锅炉宜独立设置烟窗，烟岗的高度应满足现行国家标准《锅炉 大气污染物排放标准》GB13271和项自环境评价报告的要求。 8.1.10锅炉房排放的大气污染物应符合现行国家标准《大气污 染物综合排放标准》GB16297和所在地区有关大气污染物排放标 准的有关规定。

贝百环境评价报音的安求 8.1.10锅炉房排放的大气污染物应符合现行国家标准《大气污 染物综合排放标准》GB16297和所在地区有关大气污染物排放标 准的有关规定

1工厂应根据生产的需求确定大宗气体的种类，其气体品质 应满足生产工艺要求； 2大宗气体的供气方式应根据气体用量、气体品质和当地的 供气状况各种因素确定； 3氢气、氧气管道的终端或最高点应设置放散管，放散管应引 至室外并应高出建筑的屋脊1m，氢气放散管道上应设置阻火器； 4洁净厂房内气体管道的干管应敷设在技术夹层或技术夹 道内； 5洁净室内的氢气管道应明敷，穿过洁净室的墙壁或楼板处 的管段应设置套管，套管内的管道不得有焊缝，套管与管道之间应 采取密封措施； 6氢气管道不得穿过不使用此类气体的房间，当必须穿过时 应设套管或使用双层管； 7氢气和氧气管道应设置静电泄导的接地设施

8.2.3大宗气体纯化间或气体入口室内设有氢气等可燃

置时，其火灾危险性应按甲类确定，并应符合下列规定： 1可燃气体装置应靠外墙设置，并应设置防爆泄压设施； 2氢气等可燃气体引人管道上应设置自动切断阀； 3应具有良好的自然通风，并应设置事故排风装置； 4应设置气体泄漏报警装置，并应与事故排风装置连锁。 8.2.4大宗气体管道和阀门应根据产品生产工艺要求选择，并应 符合下列规定： 1气体纯度大于或等于99.9999%时，宜采用内壁电抛光的 奥氏体超低碳不锈钢无缝钢管，阀门应采用隔膜阀、波纹管阀； 2气体纯度大于或等于99.999%、露点低于一76℃时，宜采 用内壁电抛光的奥氏体超低碳不锈钢无缝钢管或内壁电抛光的低 碳奥氏体不锈钢无缝钢管，阀门宜采用隔膜阀或波纹管阀； 3气体纯度大于或等于99.99%、露点低于一60℃时，宜采 用内壁抛光的奥氏体不锈钢无缝钢管，除可燃气体管道宜采用波 纹管阀外，其余气体管道宜采用球阀； 4气体管道阀门、附件的材质宜与相连接的管道材质一致。 8.2.5大宗气体管道连接应符合下列规定： 1不锈钢管应采用氩弧焊，宜采用自动氩弧焊或等离子熔融 对接焊； 2管道与设备或阀门的连接宜采用表面密封的接头或双卡 套，接头或双卡套的密封材料宜采用金属垫或聚四氟乙烯垫： 3管道与设备的连接应符合设备连接的要求，当采用软管连 接时，应采用金属软管

1不锈钢管应采用氩弧焊，宜采用自动氩弧焊或等离子熔融 对接焊； 2管道与设备或阀门的连接宜采用表面密封的接头或双卡 套，接头或双卡套的密封材料宜采用金属垫或聚四氟乙烯垫； 3管道与设备的连接应符合设备连接的要求，当采用软管连 接时，应采用金属软管。

应设置储存、分配系统。

8.3.2特种气体供应储存分配系统设备应根据特种气体的性质 和储存数量布置在独立的建（构）筑物内或生产厂房的专用房间 内。

灾危险性的确定应符合现行国家标准《建筑设计防火规范》 GB50016的有关规定

8.3.5新建工厂的大宗硅烷站应布置在独立建筑物或构筑物内

准《特种气体系统工程技术规范》GB50646的有关规定。

1硅烧气瓶柜的排风换气次数不得低于1200次/h，且气瓶 柜的负压应连续监控； 2自燃特种气体的气瓶柜应设置紫外、红外火焰探测器及自 动灭火系统； 3可燃特种气体的气瓶柜应设置自动灭火系统； 4自燃、可燃特种气体的气瓶柜应在气瓶之间设置隔离钢 板。

8.3.8特种气体系统吹扫氮气的设置应符合下列规定

1特种气体系统的吹扫氮气应与独立的氮气源连接，并不得 与公用氮气或工艺氮气系统相连； 2不相容性特种气体系统的吹扫氮气不得共用同一氮气源； 3吹扫氮气管线应设置止回阀。

8.3.9特种气体排气与废气处理的设置应符合下列规定

防止空气倒流造成污染和腐蚀； 2不相容性特种气体的排气不得接人同一排气主管； 3自燃、可燃、毒性、腐蚀性特种气体的排气应经过尾气处理 装置进行处理，确保达到国家规定的允许排放标准。 8.3.10生产厂房内的可燃和毒性特种气体管道应明敷，穿过牛 产区墙壁与楼板处的管段应设置套管，套管内的管道不得有焊缝， 套管与管道之间应采用密封措施。可燃、毒性、腐蚀性气体管道的 机械连接处应置于排风罩内。 8.3.11特种气体和吹扫气体的管道和管件应采用奥氏体超低碳 不锈钢无缝钢管，内表面应进行洁净和钝化处理。 8.3.12可燃、氧化性特种气体管道应设置静电泄导的接地设施。 8.3.13 室外布置的特种气体管道应架空布置。 8.3.14具有自燃、剧毒性、强腐蚀性的特种气体宜采用双套管设

8.3.11特种气体和吹扫气体的管道和管件应采用奥氏体超低碳

8.3.13室外布置的特种气体管道应架空布置。

8.4.1干燥压缩空气系统应满足生产工艺、供气量和供

8.4.1干燥压缩空气系统应满足生产工艺、供气量和供气品质的 要求，并应符合下列规定： 1干燥压缩空气系统的供气规模应按生产工艺所需实际用 气量及系统损耗量确定； 2供气设备可集中布置在生产厂房内的供气站或生产厂房 外的综合动力站； 3供气设备应选用能耗少、噪声低的设备，空气压缩机应选 用无油润滑空气压缩机

8.4.2风冷式空气压缩机及风冷式干燥装置的设备布置应防

光不锈钢管；当千燥压缩空气输送露点低于一40℃时，应采用不锈 钢管或热镀锌无缝钢管。

8.4.4压缩空气系统的管道设计应符合下列规定：

优 1压缩空气主管路设计宜布置成环状或支状系统； 2压缩空气主管道的直径应按全系统实际用气量进行设计， 主支管道的直径应按局部系统实际用气量进行设计，支管道的直 轻应按设备最大用气量进行设计； 3干燥压缩空气输送露点低于一40℃时，用于管道连接的密 封材料宜选用金属垫片或聚四氟乙烯垫片； 4采用软管连接时，宜选用金属软管。

8.5工艺真空和清扫真空

8.5.1：工艺真空系统的设计应符合下列规定： 1：工艺真空系统的抽气能力应按生产工艺所需实际用气量 及系统损耗量确定； 2供气设备应布置在生产厂房内的一个或多个供气站内； 3工艺真空设备应选用能耗少、噪声低的设备； 4工艺真空设备应根据工艺系统的实际情况选用水环式或 干式真空泵； 5工艺真空系统宜设置真空压力过低保护装置。 8.5.2工艺真空系统的管道设计应符合下列规定： 1工艺真空管路设计应布置成支状系统； 2工艺真空主管道的直径应按全系统实际抽气量进行设计； 主支管道的直径应按照局部系统实际抽气量进行设计，支管道的 直径应按设备最大抽气量进行设计； 3工艺真空系统的管道材料宜根据工艺真空系统的真空压 万及真空特性选用不锈钢管或厚壁聚氯乙烯管道； 4采用软管连接时，应选用金属软管。 8.5.3洁净室（区）宜设置集中式真空吸尘系统，洁净室内的吸尘 系统管道宜暗敷。

8.5.1工艺真空系统的设计应符合下列规定：

9供暖、通风、空气调节与净化

9.1.1洁净室（区）的空气洁净度等级以及洁净室形式应根据生 产工艺对生产环境的要求确定。 9.1.2洁净室（区）的气流组织应根据洁净度等级以及生产T.艺 要求确定。

要求确定。 9.1.3净化空调系统分开设置的原则除应符合现行国家标准《电 子工业洁净厂房设计规范》GB50472的有关规定外，还应符合下 列规定： 1 温、湿度基数差别大的洁净室应分开设置净化空调系统： 2 温、湿度允许波动范围差别大的洁净室应分开设置净化空 调系统。 9.1.4 洁净室内的新风量应取下列两项中的最大值： 补偿室内排风量和保持室内正压值所需新风量之和； 保证供给洁净室内每人每小时的新风量不小于40m。 9.1.5 洁净室与周围的空间应保持一定的静压差，静压差应符合 下列规定： 不同等级的洁净室之间的静压差不宜小于5Pa； 洁净室与非洁净室之间的静压差不应小于5Pa； 3 洁净室与室外的静压差不应小于10Pa。 9.1.6 布暨在阵列彩膜成广房核心生产区的风管水管应采

9.1.3净化空调系统分开设置的原则除应符合现行国家标准《电 子工业洁净厂房设计规范》GB50472的有关规定外，还应符合下 列规定： 1温、湿度基数差别大的洁净室应分开设置净化空调系统： 2温、湿度允许波动范围差别大的洁净室应分开设置净化空 调系统。 0注净完内的新例是应险下列两预山的是大值

子工业洁净厂房设计规范》GB50472的有关规定外，还应符合

1温、湿度基数差别大的洁净室应分开设置净化空调系统； 2温、湿度允许波动范围差别大的洁净室应分开设置净化空 调系统。

1补偿室内排风量和保持室内正压值所需新风量之和； 2 保证供给洁净室内每人每小时的新风量不小于40m3 9.1.5 洁净室与周围的空间应保持一定的静压差，静压差应符合 下列规定： 不同等级的洁净室之间的静压差不宜小于5Pa； 洁净室与非洁净室之间的静压差不应小于5Pa； 洁净室与室外的静压差不应小于10Pa。 9.1.6 布置在阵列、彩膜、成盒厂房核心生产区的风管、水管应采 取减振措施

9.2采暖、通风与废气处理

9.2.1严寒及寒冷地区各动力站房及管廊应根据技术要

1严寒及寒冷地区各动力站房及管廊应根据技术要求设置

防冻采暖设施，其他房间的采暖设计应符合现行国家标准《工 筑供暖通风与空气调节设计规范》GB50019的有关规定。

9.2.2洁净室（区）内不应采用散热器采暖。

9.2.4排风系统的设计应符合下列规定：

1等离子体增强化学气相沉积和十法刻蚀设备的尾气应设 就地处理装置。 2酸、碱、有毒和有机废气应分开设置排风系统，并应设置备 用风机和应急电源。 3阵列、彩膜、成盒厂房一般排风系统应设置备用风机。 4有冷凝液产生的工艺设备局部排风管宜设置坡度和排液 口，冷凝液应排至相应的废水管网中，且风管系统应采取防液体渗 漏措施。 5有毒排风系统的风管应采用内涂聚四氟乙烯的不锈钢板 制作。 6有毒和有机排风应采取防爆措施。 7酸、碱、有毒和有机排风系统的风管不应穿过防火墙或防 火分隔物。若必须穿过时，不得设置熔片式防火阀。 8酸、碱、有毒和有机排风系统的废气处理设备应设在排风 机的负压端。 9有毒排风系统的风管应在便于观察的位置设置透明观察 口，其管内风速不应小于10m/s。 10工艺设备局部排风系统的室外风管应根据当地气象条件 设置防结露保温措施。 11布置在阵列、彩膜、成盒厂房核心生产区内的排风管道， 其管内风速不应大于12m/s。 12洁净室的排风系统应设置防止室外气流倒灌的措施。 h

DB41T 1893-2019 公路边坡生态防护施工技术指南9.2.5废气处理系统的设计应符合下列规定：

1等离子体增强化学气相沉积和十法刻蚀设备尾气宜设置 两级就地处理装置，对硅烷和二氧化硅的去除率不应小于98% 对其他有害物的处理效率不应小于99%。 2有毒废气处理系统应针对酸、碱、粉尘综合处理。 3酸、碱、有机、有毒废气处理系统宜设置备用处理设备。 4酸、碱、有机、有毒废气不得采用固定床吸附剂方式处理。 5酸、碱、有毒废气宜采用淋洗方式处理，处理设备的填料层 数、厚度和喷淋药液循环量应根据有害物入口浓度、排放标准等因 素计算确定。处理设备的加药、补水和排污应采用自动方式；处理 设备宜就近设置月用药箱。 6处理设备的排水应进入废水处理系统。 7有机废气宜采用沸石转轮吸附、浓缩，并应经楚烧炉氧化 方式处理：焚烧后高温气体排入大气前宜设置两级热回收装置。 8剥离设备有机废气进入沸石转轮处理设备前宜进行预处 理。 9废气处理设备采用的级数应根据有害物的种类、初始浓 度、当地的排放标准、处理设备的效率等因素确定。 10两台及两台以上废气处理设备并联运行时，应在每台设 备的入口设置电动或气动密闭风阀。 9.2.6酸、碱、有机、有毒废气经处理后应经排气简排入大气，排 气简高度应符合现行国家标准《大气污染物综合排放标准》 GB16297和环境评估报告的有关规定，排气筒出口处风速不宜小 于18m/s。 9.2.7酸、碱、有毒和有机排风系统宜在排气简内设置在线监测 取样传感器。 9.2.8一般排风系统的排风宜作为洁净室的回风使用。 AMM言

9.2.9换鞋间应设置不低于10次/h的全室排风系统，排风口宜

设置在下部：换鞋柜宜设置局部排风措施：一次更衣间宜设置不低 于5次/h的全室排风系统

9.3.1净化空气调节系统的新风应集中进行热、湿、净化

风处理机组的设置应符合下列规定： 1送风机应采取变频措施； 2空气应经过粗效、中效、高效过滤器三级处理； 3阵列、彩膜、成盒厂房应设置备用新风处理机组； 4阵列、彩膜、成盒厂房的电机与风机应采用直联驱动方式， 且有良好的减振措施； 5新风的吸入口位置应远离排放有害物或可燃物的排气口； 6加湿方式宜采用温水淋水室； 7应有良好的气密性，在工作压力下的漏风率不得大于 1%。 9.3.2阵列、彩膜、成盒厂房净化空气调节系统的循环风宜采用 风机过滤器机组和干冷却盘管处理，模组和背光源厂房净化空气 调节系统的循环风宜采用循环空气处理机组处理。 9.3.3阵列、彩膜、成盒厂房的洁净室宽度超过80m时，宜在宽 度方向布置不同阻力的回风高架地板。 9.3.4干冷却盘管的设置应符合下列规定： 1迎面风速不宜超过2.5m/s； 2空气侧阻力不应大于40Pa； 3布置在同一洁净室（区）内的干冷却盘管，在工作条件下空 气侧阻力相差不得大于10%；

1迎面风速不宜超过2.5m/s； 2空气侧阻力不应大于40Pa； 3布置在同一洁净室（区）内的干冷却盘管，在工作条件下空 气侧阻力相差不得大于10%； 4冷冻水的供水温度宜高于洁净室（区）内的露点温度： 5干冷却盘管应设置排水系统，非落地安装的干冷却盘管应 设置积水盘。

9.3.5风机过滤器机组的设置应符合下列规定：

QDWF 0003S-2015 孟连傣王府生物开发有限公司 发酵大蒜1应根据空气洁净度等级和送风量选用； 2宜采用直流调速电机；