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DB32／ 3747-2020 半导体行业污染物排放标准表1水污染物排放限值
表2单位产品基准排水量
Q总一排水总量，单位为m； YTB 10752-2018 高速铁路桥涵工程施工质量验收标准，一某种产品产量，产品单位见表2； Qi基—某种产品的单位产品基准排水量，产品单位见表2； P实一一实测水污染物排放浓度，单位为mg/L。 若Q总与>Y:Oi的比值小于1，则以水污染物实测浓度作为判定排放是否达标的依据。
5大气污染物排放控制要求
.1有组织排放控制要求
5.1.1大气污染物排放限值见表3
表3大气污染物排放限值
表3大气污染物排放限值
“适用于酸洗、薄膜等工段产生的工艺废气。 b待国家污染物监测方法标准发布后实施。 “苯系物包括苯、甲苯、二甲苯、三甲苯、乙苯和苯乙
5.1.2废气收集处理系统应与生产工艺设备同步运行。废气收集处理系统发生故障或检修时，对应的生 产工艺设备应停止运行，待检修完毕后同步投入使用；生产工艺设备不能停止运行或不能及时停止运行 的，应设置废气应急处理设施或采取其他替代措施。 5.1.3进入VOCs燃烧（焚烧、氧化）装置的废气含氧量可满足自身燃烧、氧化反应，不需另外补充空气 的（燃烧器需要补充空气助燃的除外），以实测浓度作为达标判定依据，但装置出口烟气含氧量不得高 于装置进口废气含氧量， 吸附、吸收、冷凝、生物、膜分离等其他VOCs处理设施，以实测浓度作为达标判定依据，不得稀 释排放。 进入VOCs燃烧（焚烧、氧化）装置的废气需要补充氧气（空气）进行燃烧、氧化反应的，排气筒 中实测大气污染物排放浓度，应按公式（2）换算为基准含氧量为3%的大气污染物基准排放浓度。
P基一一大气污染物基准排放浓度，单位为mg/m²； O基一一干烟气基准含氧量，%； O实一一实测的干烟气含氧量，%； p实一一实测大气污染物排放浓度，单位为mg/m3。 5.1.4排放氯气、氰化氢的排气筒高度不低于25m，其他排气筒高度不低于15m（因安全考虑或由特殊 工艺要求的除外），具体高度以及与周围建筑物的距离应根据环境影响评价文件确定， 5.1.5当执行不同排放控制要求的废气合并排气筒排放时，应在废气混合前进行监测，并执行相应的排 放控制要求；若可选择的监控位置只能对混合后的废气进行监测，则应按各排放控制要求中最严格的规 定执行。
5.2无组织排放控制要求
企业边界大气污染物任何1小时平均浓度执行表4规定的限值。
表4企业边界大气污染物浓度限值
6.1污染物监测的一般要求
6.1.1企业应按照《环境监测管理办法》等规定，建立企业监测制度，制定监测方案，对污染物排放状 况及其对周边环境质量的影响开展自行监测，保存原始监测记录，并公布监测结果。 5.1.2企业安装污染源排放自动监控设备的要求，按有关法律和《污染源自动监控管理办法》的规定执 行。 5.1.3企业应按照环境监测管理规定和技术规范的要求，设计、建设、维护永久性采样口、采样测试平 台和排污口标志。 5.1.4对企业排放的废水和废气的采样，应根据监测污染物的种类，在规定的污染物排放监控位置进行 有废水、废气处理设施的，应在该设施后监控。
6.2水污染物监测要求
6.2.1水污染物的监测采样按HJ/T91、HJ493、HJ494、HJ495的规定执行。 6.2.2对企业排放水污染物浓度的测定采用表5所列的方法标准。 5.2.3本标准发布实施后，表5所列污染物如有新发布的国家环境监测分析方法标准，其方法适用范围和 条件相同的，也适用于本排放标准对应污染物的测定，
表5水污染物浓度测定方法标准
6.3大气污染物监测要求
6.3.1排气筒中大气污染物的监测采样按GB/T16157、HJ/T397、HJ75、HJ76、HJ732规定执行；大气 污染物无组织排放的监测按HJ/T55规定执行。 6.3.2对企业排放大气污染物浓度的测定采用表6所列的方法标准。 5.3.3本标准发布后，表6所列污染物如有新发布的国家环境监测分析方法标准GB/T 31565-2015 热交换器用钢板搪瓷边缘覆盖率的测定，其方法适用范围和条件 相同的，也适用于本排放标准对应污染物的测定
表6大气污染物浓度测定方法标准
采用手工监测时，按照相关监测技术规范要求获取的监测结果超过本标准排放浓度限值的，判 放超标。各级生态环境主管部门在对企业进行监督性检查时，可以现场即时采样或监测的结果 定排污行为是否符合排放标准以及实施相关环境保护管理措施的依据，
7.2企业按照法律法规及标准规范要求与生态环境部门联网的自动监测有效数据JJG(民航) 048-1999试行 УПИВ-П-1型飞机测振系统测试仪检定规程 试行，大气污染物以任意1 小时平均浓度值作为达标考核的依据，水污染物以日均值作为达标考核的依据。 7.3国家和省对达标判定另有要求的，从其规定。
8.1新建企业自2020年7月1日起，现有企业自2022年7月1日起执行本标准。 8.2本标准由县级以上人民政府生态环境主管部门负责监督实施。 8.3在任何情况下，企业均应遵守本标准的污染物排放控制要求，采取必要措施保证污染防治设施正常 运行。
1新建企业自2020年7月1日起，现有企业自2022年7月1日起执行本标准。 2本标准由县级以上人民政府生态环境主管部门负责监督实施。 3在任何情况下，企业均应遵守本标准的污染物排放控制要求，采取必要措施保证污染防治设施 行