SJ／T 11576-2016标准规范下载简介：
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SJ／T 11576-2016 喷雾式涂覆设备通用规范5. 6 保护与报警功能
5.8.4承片台装配精度
DB43T 473-2009 食用红薯淀粉5.8.5承片台吸附压力
承片台上有基片且旋转时，承片台吸附压力应不
有基片且旋转时，承片台吸附压力应不低于40k
5.8.6承片台温控精度
5.8.7热盘温控精度及均匀度
～120℃，温控精度应不低于土0.6 均匀度≤0.6℃；温控范围在121℃～150℃，温控精度应不低于±1℃，温度均匀度≤1 空范围在151℃～180℃，温控精度应不低于±2℃，温度均匀度≤2℃
5.8.8冷盘温控精度及均匀度
5.8.9AD腔体真空度及盘面温控要求
SJ/T115762016
AD腔体应具有一定的真空压力，真空度应大于40kPa；腔体内热盘温控范围在100℃～150 控，温控精度应不低于±1℃。
5.8.10膜厚及均匀性
给设备输入不同的参数，基片上所喷胶膜厚度应能改变；同一基片上膜厚在2um30um的范围内 均匀性≤±20%
5.9.1设备平均无故障工作时间(MTBF）≥300h
法，对设备的外观进行检
6.2.1保护接地电路的连续性试验按GB5226.1一2008中19.2的规定方法进行。 6.2.2绝缘电阻按GB5226.1一2008中19.3的规定方法进行。 6.2.3耐压试验按GB5226.1—2208中19.4的规定方法进行。
6.3废气、废液排放装置检查
6.4保护与报警功能检查
在不损害设备性能及造成人身伤害的条件下，人为虚拟制造报警条件进行验
实际操作设备，观察设备的动态显示，工艺配方执行情况，工作日志自动保存情况。在不损害设备 性能及造成人身伤害的条件下，人为虚拟制造机械动作等超限异常状态，验证设备自动监控、提示与报 警，故障自诊断、导引排除并追记等功能
手动调节喷嘴，目测喷嘴位置及喷胶范围。采用电子天平滴多次取平均值测量胶量（称取的胶量可 换算成m1）。
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至少两槽重片，其他正常，在显示屏上观察系统是否能准确反映出片盒内放置的基片数量及 及斜片等现象。
使用转速测量仪，对准承片台上正在旋转的贴有一条反射薄膜的基片进行测量。
6.9承片台装配精度检测
用固定在表座上的千分表，测量头接触承片台边沿部分，使承片台缓慢转动，观察千分表变化
6.10承片台吸附压力检测 目测设备上的真空表，检查承片台吸 时送力 6.11 承片台温度检测 试验温度应以企 舒准 中规定的温度为准。 用温度检测仪 金测承 温度检测仪至少有5 精度±0.1℃， 温度传感器之间的 6.12 热盘温度 及均匀度检测 试验温度应以企业 产品标准中规定的温度务 用温度检 测热盘温控 秘 面温度均匀度 温度检测仪 个温度传感器， 精度土0.1℃， 温度传 器之间的保差土0.03℃ 6.13冷盘温度及均勺 度检测 试验温度应以企业产 标准中规定的温度为准。 2 用温度检测仪 温控范围及精度和盘面温度均匀度。温度检测仪至少有5个温度传感器， 精度±0.1℃，温度传感器之间的误差士0.03℃。 6.14AD腔体真空度检查及热盘温度检测 目测AD盘上的真空表，检查AD腔体的真空度 用温度检测仪，检测热盘温控范围及精度。温度检测仪至少有5个温度传感器，精度土0.1℃，温 度传感器之间的误差土0.03℃。
6.10承片台吸附压力检测
6.11承片台温度检测
6.15膜厚及均匀性检源
同一配方喷涂试验片数应不小于5片。 每个基片测量不少于9点，用显微镜或光学膜厚仪测量基片各点的膜厚。 均匀性按照公式（1）计算：
实测厚度最大值+实测厚度最小值
按GB/T5080.7的规定，选定试验方案，进行可靠性试验
代涂覆设备的产品检验分为鉴定检验和出厂检验。
在有下列情况（包含但不限于）之一时，应进行鉴定检验： a）新产品定型或产品改进设计后定型时； b）产品转厂生产时； c）产品关键部件、材料、工艺有较大改变，可能影响产品性能时 d）产品长期停产再次恢复生产时； e）出厂检验结果与鉴定检验结果有较大差异时； f）质量技术监督机构等提出鉴定检验要求时。
鉴定检验样机应随机抽样（至少1台）
鉴定检验的检验项目应符合表2的规定。
SJ/T 115762016
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7.2. 4 合格判定
当所有鉴定检验项目检测结果都合格时，则该产品鉴定检验合格；若任一鉴定检验项目不合格 产品监宝检验不合格
检验项目检测结果都合格时GB/T 30007-2022 船舶和海上技术 通过分析测速试航数据以确定速度和功率性能的评估导则，则该产品鉴定检验合格；若任一鉴定检验项目不合格，则
没备的包装和运输应符合GB/T29845的要求。
8.3.1设备应存放在清洁、通风、干燥、无腐蚀性气体的仓库内
8.3.1设备应存放在清洁、通风、干燥、无腐蚀性气体的仓库内。
8.3.2设备储存环境
8.3.2设备储存环境！
GB/T 35842-2018 城镇供热预制直埋保温阀门技术要求a）温度：5℃～40℃。 b）相对湿度：45%~55%
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设备的使用说明书应按GB/T9969的准要求编制，同时应包含非正常状态处理、系统控制程序 编制、服务控制、配置参数控制等内容。