GB/T 14146-1993标准规范下载简介：

GB/T 14146-1993 硅外延层载流子浓度测定 汞探针电容--电压法 本标准规定了硅外延层载流子浓度汞探针电容—电压测量方法。本标准适用于同质的硅外延层载流子浓度测量。