GB/T 14143-1993标准规范下载简介：

GB/T 14143-1993 300？900 UM 硅片间隙氧含量红外吸收测量方法 本标准规定了用红外吸收法测定厚度为300~900μm的硅片间隙氧含量的方法。本标准适用于室温电阻率大于0.1Ω·cm的硅片间隙氧含量的测量。