GB/T 17874-1999 电子工业用气体 三氯化硼 更新时间:2008年02月19日 资源 GB/T 17874-1999 电子工业用气体 三氯化硼 积分0.00 特惠 积分0 VIP全站资料免积分下载 立即下载 同类资料根据编号标题搜索 文档 仅供个人学习 反馈 标准编号:GB/T 17874-1999 文件类型:.rar 资源大小:160.0KB 标准类别:国家标准 资源ID:6075 VIP资源 GB/T 17874-1999标准规范下载简介: GB/T 17874-1999 电子工业用气体 三氯化硼 本标准规定了电子工业用三氯化硼气体的要求、检验方法、检验规则以及包装、标志、运输、贮存和安全要求。本标准适用于以粗制三氯化硼为原料,采用吸附、蒸馏的方法提纯制得的三氯化硼,主要用于电子工业硅半导体器件和集成电路生产所用的扩散、离子注入、干法蚀刻等工艺。 建筑材料标准 水产标准 档案标准 金融标准 广播电影电视 稀土标准 铁路运输标准 通信标准 民用航空标准 土地管理标准 物资标准 ©版权声明 资源来自互联网,如有侵权请联系删除 同类资源: 上一篇 GB/T 17873-1999 纯氖 下一篇 GB/T 18175-2000 水处理剂缓蚀性能的测定 旋转挂片法 相关文章