GB/T 15909-1995 电子工业用气体 硅烷(SiH4) 更新时间:2008年02月19日 资源 GB/T 15909-1995 电子工业用气体 硅烷(SiH4) 积分0.00 特惠 积分0 VIP全站资料免积分下载 立即下载 同类资料根据编号标题搜索 文档 仅供个人学习 反馈 标准编号:GB/T 15909-1995 文件类型:.rar 资源大小:219.0KB 标准类别:国家标准 资源ID:6053 VIP资源 GB/T 15909-1995标准规范下载简介: GB/T 15909-1995 电子工业用气体 硅烷(SiH4) 本标准规定了电子工业用硅烷气体的技术要求、检验方法、检验规则、包装、标志、运输、贮存和安全要求等。本标准主要用于电子工业中多晶硅和单晶硅外延淀积、二氧化硅的低温化学汽相淀积、非晶硅薄膜淀积等。 稀土标准 国家*用标准 铁路运输标准 化工标准 医药标准 有色冶金标准 环境保护标准 旅游标准 劳动安全标准 金融标准 建筑工业标准 ©版权声明 资源来自互联网,如有侵权请联系删除 同类资源: 上一篇 GB/T 15893.3-1995 工业循环冷却水中**盐的测定 重量法 下一篇 GB/T 15963-1995 十二烷基**钠 相关文章