GB/T 14603-1993 电子工业用气体 三氟化硼 更新时间:2008年02月19日 资源 GB/T 14603-1993 电子工业用气体 三氟化硼 积分0.00 特惠 积分0 VIP全站资料免积分下载 立即下载 同类资料根据编号标题搜索 文档 仅供个人学习 反馈 标准编号:GB/T 14603-1993 文件类型:.rar 资源大小:190.0KB 标准类别:国家标准 资源ID:6034 VIP资源 GB/T 14603-1993标准规范下载简介: GB/T 14603-1993 电子工业用气体 三氟化硼 本标准规定了三氟化硼产品的技术要求、试验方法、检验规则、包装、标志、运输、贮存和安全要求。本标准适用于以氟硼酸钠为原料,采用热分解法制得的三氟化硼。主要用于半导体器件和集成电路生产的离子注入和掺杂。 外经贸标准 档案标准 农业标准 包装标准 交通标准 机械标准 教育标准 煤炭标准 民政标准 物资标准 电力标准 ©版权声明 资源来自互联网,如有侵权请联系删除 同类资源: 上一篇 GB/T 14602-1993 电子工业用气体 氯化氢 下一篇 GB/T 14604-1993 电子工业用气体 氧 相关文章