GB/T 14601-1993 电子工业用气体 高纯氨 更新时间:2008年02月19日 资源 GB/T 14601-1993 电子工业用气体 高纯氨 积分0.00 特惠 积分0 VIP全站资料免积分下载 立即下载 同类资料根据编号标题搜索 文档 仅供个人学习 反馈 标准编号:GB/T 14601-1993 文件类型:.rar 资源大小:141.0KB 标准类别:国家标准 资源ID:6032 VIP资源 GB/T 14601-1993标准规范下载简介: GB/T 14601-1993 电子工业用气体 高纯氨 本标准规定了电子工业用气体高纯氨的技术要求,试验方法,检验规则及产品的包装、标志、运输、贮存及安全要求。本标准适用于瓶装高纯氨。该产品主要用于半导体工业,氮化硅的化学气相淀积,也可用于硅或氧化硅的氮化。 土地管理标准 地质矿产标准 电子标准 测绘标准 石油天然气 地方标准 林业标准 档案标准 核工业标准 纺织标准 民用航空标准 ©版权声明 资源来自互联网,如有侵权请联系删除 同类资源: 上一篇 GB/T 14600-1993 电子工业用气体 氧化亚氮 下一篇 GB/T 14602-1993 电子工业用气体 氯化氢 相关文章