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HG／T 5962-2021 硅片切割废液处理处置方法.pdf

切方后的切割废浆料（离线）经压滤机固液分离得到聚乙二醇（高浓度）。滤饼（砂料）加入后 续工序产生的回用液调制成浆，进行四道循环压滤得到聚乙二醇，再经吸附脱色、脱悬分离、树脂交 换、微孔过滤及蒸发脱水得到成品聚乙二醇，与得到的聚乙二醇（高浓度）一并用于硅片切割。成品 聚乙二醇处理过程产生的固体废物（废活性炭、废树脂及浆渣）收集后交相关单位处理处置。 含微硅粉的碳化硅（滤饼）加入去离子水和聚乙二醇蒸发冷凝水，经悬流分离、底流筛分、带式 过滤、碱洗、酸洗、水洗后，烘干脱水、筛分，得到成品碳化硅及微硅粉（含少量或微量碳化硅）。 成品聚乙二醇及成品碳化硅回收再利用。微硅粉（含少量或微量碳化硅）统一收集，经消除反应特性 后转化为矿物性废物（一般性工业废物）

5.2.1.3工艺流程图

NY/T 1991-2011 油料作物与产品名词术语切割废浆料（离线）处理处置工艺流程见图2。

图2切割废浆料（离线）处理处置工艺流程

5.2.1.4工艺控制参数 5.2.1.4.1碳化硅回收工序 5.2.1.4.1.1 料浆温度：50℃~60℃。 5. 2. 1. 4. 1.2 搅拌时间：30min~60min。 5. 2. 1. 4. 1. 3 碱液（3%～5%氢氧化钠溶液）和固体颗粒的体积比：（3.5：1）～（4.5：1）。 5. 2. 1. 4. 1. 4 碱洗时间：4h~5h。 5. 2. 1. 4. 1. 5 酸液（2%～31%盐酸溶液）与固体颗粒的体积比：（0.9：1）～（1.2：1）。 5. 2. 1. 4. 1. 6 酸洗时间：4h~5h。 5. 2. 1. 4. 1. 7 水洗：pH6~8。 5. 2. 1. 4. 1. 8 烘干温度：105℃~110℃。 5. 2. 1. 4. 1. 9 烘干时间：60min~90min。

5.2.1.4工艺控制参数 5.2.1.4.1碳化硅回收工序 5.2.1. 4. 1.1 料浆温度：50℃~60℃。 5. 2. 1. 4. 1. 2 搅拌时间：30min~60min。 5. 2. 1. 4. 1. 3 碱液（3%～5%氢氧化钠溶液）和固体颗粒的体积比：（3.5：1）～（4.5：1）。 5. 2. 1. 4. 1. 4 碱洗时间：4h~5h。 5. 2. 1. 4. 1. 5 酸液（2%～31%盐酸溶液）与固体颗粒的体积比：（0.9：1）～（1.2：1）。 5. 2. 1. 4. 1. 6 酸洗时间：4h~5h。 5. 2. 1. 4. 1. 7 水洗：pH6~8。 5. 2. 1. 4. 1. 8 烘干温度：105℃~110℃。 5. 2. 1. 4. 1. 9 烘干时间：60min~90min。

5.2.1.4.2聚乙二醇回收工序

5.2.1.4.2.1吸附脱色温度：料浆温度50℃60℃。 5.2.1.4.2.2吸附脱色时间：60min~120min。 5.2.1.4.2.3蒸馏脱水温度：105℃~110℃

5.2.1.4.2.1吸附脱色温度：料浆温度50℃~60℃。

5.2.1.4.2.1吸附脱色温度：料浆温度50℃60℃ 5.2.1.4.2.2吸附脱色时间：60min~120min。 5.2.1.4.2.3蒸馏脱水温度：105℃~110℃

2.1.5主要生产设备

切割废浆料（离线）处理处置碳化硅回收工序和聚乙二醇回收工序主要设备包括： a）加热搅拌装置、板框压滤机、四道循环压滤装置、悬流分离装置、底流筛分装置、带式过滤 机、烘干机及筛分收集系统等； b）聚乙二醇脱色装置、板框压滤机、树脂交换装置、微孔过滤器、蒸馏脱水装置等

5.2.1.6各工序处理效果及计算

各工序处理效果按附录A计算，并符合下列要求： a）成品碳化硅回收率不小于88%； b）成品聚乙二醇（含用于切片回用）回收率不小于98%。

5.2.2切割废浆料（在线）处理处置

5. 2. 2. 1 方法提要

切割废浆料（在线）先分离出规定米 二醇及废浆料（在线）。废浆料（在线）经固液分离，液相经蒸馏、汽提后得到成品聚乙二醇，固 相统一收集，经消除反应特性后转化为矿物性废物 股性工业废物）

5. 2. 2. 2 工艺流程简述

废浆料（在线）经螺旋沉降离心，分离出粒度符合切割砂浆要求的碳化硅，收集回用。不符合切 割要求的废砂浆再经压滤，得到聚乙二醇及含少量碳化硅的聚乙二醇微硅粉浆，微硅粉浆经四道循环 玉滤使固液分离，液相聚乙二醇经脱悬分离、树脂交换、微孔过滤及蒸发脱水得到成品聚乙二醇。成 品聚乙二醇处理过程产生的固体废物（废活性炭、废树脂及浆渣）收集后交相关单位处理处置。 微硅粉（含少量碳化硅）统一收集，经消除反应特性后转化为矿物性废物（一般性工业废物）

5. 2. 2 3工艺流程图

废浆料（在线）处理处置工艺流程见图3。

HG/T59622021

5. 2. 2. 4 工艺控制参数

5.2.2.4.1吸附脱色温度：料浆温度50℃~60℃ 5.2.2.4.2吸附脱色时间：60min120min。 5.2.2.4.3蒸馏脱水温度：105℃~110℃。

5.2.2.4.1吸附脱色温度：料浆温度50℃~60℃。

5. 2. 2. 5 主要生产设备

废浆料（在线）处理处

切割废浆料（在线）处理处置的主要设备包括：四道循环压滤装置、聚乙二醇脱色装置、板框压 滤机、树脂交换装置、微孔过滤器、蒸馏脱水装置

5.2.2.6各工序处理效果及计算

成品聚乙二醇回收率不小于95%，按附录A计

硅片切割废液（浆）处理处置过程中） 产工艺中。不能达到循环使用要求的，应进行无害化处理处置，若排放应符合GB8978的要求。

硅片切割废液（浆）处理处置过程中产生的废气，应采用专业的喷淋吸收等，进行无害化处理，

排放应符合GB16297的要求。

硅片切割废液（浆）处理处置过程中产生的废渣，应按GB5085.7的规定进行鉴别，并符合下 列规定： a）经鉴别属于危险废物，应根据自身条件进行深度无害化处理，或交由有资质的专业危险废物 处理机构进行处理； b）经鉴别属于一般固体废物，应按GB18599的要求进行处理，

硅片切割废液（浆）处理处置过程中产生的废渣，应按GB5085.7的规定进行鉴别，并符合下 例规定： a）经鉴别属于危险废物，应根据自身条件进行深度无害化处理，或交由有资质的专业危险废物 处理机构进行处理； b）经鉴别属于一般固体废物，应按GB18599的要求进行处理。

A.1回用水不溶物含量的测定

用量筒量取250mL回用水，精确至1.0mL。用预先于105℃土2℃下干燥至质量恒定的滤机 为5μm～15μm的玻璃砂埚抽滤，用60mL热水（约60℃）分3次洗涤残渣，然后连同玻理 于105℃±2℃下干燥至质量恒定

A.1.2试验数据处理

用水不溶物含量的质量分数W1，按公式（A.1)

干燥至质量恒定后回用水不溶物和玻璃砂埚的质量的数值，单位为克（g）； 干燥至质量恒定后玻璃砂的质量的数值，单位为克（g）； V 量取回用水的体积的数值，单位为毫升（mL）

A.2成品碳化硅回收率

DB62T 789.2-2002 甘肃省沿黄灌溉农业区地膜西瓜套大豆栽培技术规程成品碳化硅回收率W2；按公式（A.2）计算：

一含微硅粉的碳化硅的质量的数值，单位为克（g）； 1 微硅粉的质量的数值，单位为克（g）

A.3成品聚乙二醇回收率

成品聚乙二醇回收率w3，按公式（A.3）计算

V一固液分离得到聚乙二醇（浓度折百）的体积的数值，单位为毫升（mL）； V1——经脱悬分离、树脂交换、微孔过滤及蒸发脱水得到成品聚乙二醇的体积的数值，单位为毫 升(mL)。

V 固液分离得到聚乙二醇（浓度折百）的体积的数值，单位为毫升（mL）； V1——经脱悬分离、树脂交换、微孔过滤及蒸发脱水得到成品聚乙二醇的体积的数值DBJ 43-002-2005 混凝土多孔砖建筑技术规程，单位为毫 升（mL）。