JC/T 2133-2012 半导体抛光液用硅溶胶中杂质元素含量的测定 电感耦合等离子体原子发射光谱法

JC/T 2133-2012 半导体抛光液用硅溶胶中杂质元素含量的测定 电感耦合等离子体原子发射光谱法
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标准编号:JC/T 2133-2012
文件类型:.pdf
资源大小:2.6M
标准类别:建筑工业标准
资源ID:221564
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JC/T 2133-2012标准规范下载简介:

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JC/T 2133-2012 半导体抛光液用硅溶胶中杂质元素含量的测定 电感耦合等离子体原子发射光谱法

确定度评定依照CNASGL06《化学分析中不确定度的评估指南》中提供的方法进行(具体 附录B)。被测元素含量范翻在0.01μg/mL~1μg/mL之间,测量不确定度应小于该元素测 被测元素含量范围在1ug/ml~20ug/mL之间,测量不确定度应小于该元素测量值的5%

JCT2133=2012

JC/T2133=2012

同一实验室内部、在重复性条件下获得三份平行分析结果的最大相对偏差应才

DB11T 692-2009 历史文化街区工程管线综合规划规范验室之间分析结果的差值应不大于表3所列白

JC/T 21332012

(资料性附录) 推荐的仪器工作条件以及各元素推荐分析线波长

表人.1推荐的仪器工作条件

表A.2各元素推荐分析线波长

JC/T21332012

试样通过相应的稀释处理或直接进样,在电感耦合等离子体炬焰中激发,发射出所含元素的分析线 根据待测元素分析线的强度测定相应

B.2识别和分析不确定度来源

根据上述分析方法,C是通过校准曲线计算得出的待测样品中元素的浓度。因此除了评定测量重复 生标准不确定度以外,重点是对Cx的不确定度分量进行合理评定。显然C受校准曲线变动以及绘制校 准曲线所采用的标准溶液本身的不确定度等因素的影响。此外,应对其他的输入量(溶液体积V和试样 量m)的不确定度分量进行识别和描述。

B.3不确定分量的评定

B.3.1测量重复性的不确定度分量uS))

测量重复性的不确定度分量(S)可用样本的标准偏差进行计算:

n一—样本数,n应不小于9。由于考虑到方法的可操作性,重复次数考虑在样本数内, 样品3份,每份重复次数3次,则n=9。

B.3.2校准曲线变动性的不确定度分量u(C)

设校准曲线的回归方程为:

一仪器测量的光谱强度: 一一工作曲线的截距 一一工作曲线的斜率: 一—测量液中元素的浓度。 则由工作曲线变动性引起浓度c.的标准不确定度分量u(c)为:

仪器测量的光谱强度: 一工作曲线的截距; —工作曲线的斜率: ——测量溶液中元素的浓 则由工作曲线变动性引起浓

式中: S.—工作曲线的变动性的标准差:

飞工作曲线各校准浓度的平均值:

标准溶液的不确定度由标准溶液浓度的不确定度分量以及分取标准溶液的体积和溶液 下确定度构成

B. 3. 3.1标准溶液浓度不确定度分量 u(c.)

方法推荐使用有证标准物质可直接引用有证标准物质的标准不确定度分量。 标准溶液由数个标准物质配制时,可将所用标准物质特性量值的标准不确定度和相对标准 并将各标准物质特性量值的相对标准 均方根作为其相对标准不确定度

取标准溶液的体积和溶液稀释体积的不确定

配制时,标准溶液通常用一支移液管操作,移液管体积的变动性以及各分取体积的变动性以及各分 取落液体积相对不确定度的均方根计算

E,u() u(cgh n

Zu%(v) u(csh = n

ure(V)一一是分取第i个标准溶液体积误差的相对标准不确定度。 下列情况不再评定: 一由于需分取数份标准溶液,其体积读数的不确定度已包括在校准曲线的变动性中,不再评定: 工作曲线通过多个校准溶液测量和绘制,各校准溶液稀释在数个同体积的容量瓶中,可认为各 容量瓶的体积误差、稀释重复性的不确定度已包括在工作曲线的变动性中,不再评定。

B.3.4测量溶液体积(V)的不确定度分量u(V)

B.4合成标准不确定度的评定

B.4.1各分量不相关,以各分量的相对标准不确

B.4.2由相对合成标准不确定度ucr/(cM)计算合成标准不确定度u(cm)

FZ/T 64005-2021 卫生用薄型非织造布B.5扩展不确定度的评定

95%置信水平,包含因子k=2,计算扩展不

B.6测量结果以及不确定度的表达

(cre (cm )= yu'(c)+u (s.)+u"(c)+u (y)

u.(cm)=Cu × ucrel(cm).

测量结果的不确定度以扩展不确定度表示。通常扩展不确定度与测量结果一起表示,并说明包含因 子值。 示例:用电感耦合等离子体原子发射光谱法测定硅溶胶中铁的含量为0.13略g/mL,评定的扩展不确定度U为 0.01ug/mL,则铁的测量结果和不确定度可表示为:

量结果的不确定度以扩展不确定度表示。通常扩展不确定度与测量结果一起表示,并说明 例:用电感耦合等离子体原子发射光谱法测定硅溶胶中铁的含量为0.13ug/mL,评定的扩展不确定 /mL,则铁的测量结果和不确定度可表示为

TCATAGS 7-2020 通用航空应急救援术语Cr,=(0.13±0.01)μg/mL,k=2

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