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GB51401-2019 电子工业废气处理工程设计标准及条文说明

2. 0. 5酸性废气

cid contaminated exhaus

acid contaminated exhaust

WB/T 1023-2005 菱镁胶凝材料改性剂alkaline contaminated exhaust

生产工艺过程中产生的碱性污染物气体的总称，通常能与酸 作用生成盐类化合物，包括氨、胺类化合物、氢氧化钠等。

special contaminated exhaust

电子产品生产过程中化学气相淀积、扩散、外延、离子注人、十 法刻蚀等工艺设备散发的含有毒性、腐蚀性、氧化性、自燃性、可燃 性、情性等物质的废气。

2.0.9立即危害生命和健康浓度

对生命产生即刻危害，并对健康造成不可逆的不良影响的环 境浓度，或使人降低逃生能力的环境浓度

2.0.12尾气处理设备

安装在工艺生产设备附近，并对其排出的尾气进行处理的设 备，通常也称排风预处理设备或就地尾气处理设备

2.0.13中央废气处理系统

2.0.13中央废气处理系统

通常位于废气系统的未端，在废气排入大气前对其所含的特 定污染因子做最终的消减处理，并达到规定的排放浓度或标准的 处理系统。

2.0.14转轮浓缩系统

挥发性有机物废气通过转轮的吸附区域后，其污染因子能被 有效地吸附于转轮的吸附材料中，并在转轮的脱附区域被小流量 高温空气脱附，使低浓度、大风量挥发性有机物废气浓缩为高浓 度、小风量的挥发性有机物废气的系统。

2.0.15蓄热氧化系统

通过蓄热床吸收高温烟气的热量，并预热未经处理的低温废 气，吸热升温后的废气通过高温裂解破坏其污染因子结构的系统。

2.0.16填料洗涤式废气处理设备

经由填料增加气液废气接触面积的废气处理设备，包括本体、 填料层、除雾层、循环喷淋系统、循环泵、储液槽及控制系统等的废 气处理设备，通常分为水平式和垂直式。

2.0.17压入式废气处理系统

风机位于废气处理设备气流上游，废气处理设备相对于所处 环境为正压的处理系统。

2.0.18吸人式废气处理系统

风机位于废气处理设备气流下游，废气处理设备相对于所处 环境为负压的处理系统，

2.0.19吹吸式废气处理系统

废气处理设备的进、出口均设置风机，废气处理设备相对于所 处环境为微负压或微正压的处理系统。

2.0.20时间加权平均容许浓度

2.0.21短时间接触容许浓度

作地点空气中有害物质不应超过的

3.0.1产生有害物质的工艺生产设备，宜采用自动化，并应采取 密闭、隔离和负压操作措施。对生产过程中不可避免放散的有害 物质在排放前，应采取净化处理措施，并应达到有关污染物排放 标准，

3.0.2排风系统应按废气种类和不相容原则设置。

.2排风系统应按废气种类和不相容原则设置。

不同排风点不同的有害物质混合后能引起燃烧或爆炸； 2 混合后能产生或加剧腐蚀性或毒性； 3 混合后易使蒸汽凝结井聚积粉尘； 4 散发极毒和剧毒物质的房间和设备； 5排风中含有燃烧爆炸性气体。

5排风中含有燃烧爆炸性气体。 3.0.4当排风点需求压力相差250Pa以上，且所需压力绝对值 的较大值出现在系统后三分之一管路时，宜分别设置排风系统。 3.0.5排气系统宜按照最大产能时的各工艺设备排气量计算，并 据此确定废气处理系统的风量和排风管尺寸。 3.0.6排风系统设计应符合下列规定。

3.0.4当排风点需求压力相差250Pa以上，且所需压力绝刘

3.0.6排风系统设计应符合下列规定：

1含有燃烧爆炸性物质的局部排风系统应按物理化学性质 采取相应的防火防爆措施； 2排风中污染物浓度或排放速率超过国家和地区污染物 放标准时，应进行净化处理。 3.0.7排除有燃烧爆炸性危险物质的排风系统风量应经计算确 定，并应符合下列规定： 1采用局部排风系统时，其风量应按在正常运行和事故情况 下风管内燃烧爆炸性危险物质的浓度不大于爆炸下限的50%

计算。 2有燃烧爆炸性区域的排风量，应符合现行国家标准《爆炸 危险环境电力装置设计规范》GB50058的有关规定

3.0.8废气处理系统的设备符合

1直接布置在爆炸危险性区域内时； 2排除、输送或处理有甲、乙类物质，其浓度为爆炸下限 10%及以上时； 3排除、输送或处理有燃烧或爆炸危险的粉尘、纤维物质，其 含尘浓度为其爆炸下限的25%及以上时。 3.0.9当排风中含有的燃烧或爆炸危险物质可能出现的最高浓 度超过爆炸下限值的10%时，废气处理系统的设备、风管和配件 应符合下列规定： 1风管和配件应采用金属材料制作； 2设备和风管均应采取防静电接地措施； 3当风管和配件的法兰密封垫或螺栓垫圈采用非金属材料 时，应采取法兰跨接措施。 3.0.10有爆炸危险厂房内的排风风管，严禁穿过防火墙和有爆 炸危险的车间隔墙。 3.0.11含有有毒有害物质或含有爆炸危险性物质的局部排风系 统，其排出的气体应排至建筑物的空气动力阴影区和正压区外。

3.0.11含有有毒有害物质或含有爆炸危险性物质的局部排风系

统，其排出的气体应排至建筑物的空气动力阴影区和正压区外。 3.0.12当风管内可能产生凝结水或其他液体时，风管设计应符 合下列规定： 1排风管道应设置不小于0.5%的坡度； 2风管的低点应设置观察检修口； 3风管的低点和排风机的底部应设排液装置，有毒、有害的 冷凝液应排至相应的废水管网中； 4排风管的结构及连接方式应采取防液体渗漏措施。 3.0.13填料洗涤式废气处理设备的设置应符合下列规定： 1 断面风速宜小于2. 5m/s。

2填料厚度应经计算确定，但不应小于1.2m。 3喷淋液循环量应取下列两项的较大值： 1）保证每1000m²/h废气量不小于1.5m3/h； 2）保证每平方米填料面积不小于15m3/h。 4空塔滞留时间宜大于1s。 5对每种污染物最低净化效率应根据排气筒高度、排放速率 等计算确定，且不应低于《环境保护产品技术要求工业废气吸收 净化装置》HJ/T387的有关规定。 6严寒地区应设置在室内，寒冷地区宜设置在室内。 7有冻结可能时，应采取防冻措施。 8补水不宜采用纯水制备系统的反渗透浓水。 9排水应接至相应的废水管网中。 3.0.14排风中含有有毒有害物质时，不应采用压入式废气处理 系统；排风中含有挥发性有机物污染因子时，宜采用吹吸式废气处 理系统。 3.0.15酸、碱、挥发性有机物废气处理设备的压力损失不应大 于1000Pa。 3.0.16废气处理设备不应设置旁路。

3.0.16废气处理设备不应设置旁路。

1燃烧爆炸性、毒性物质未经处理的排风管路，应保持相对 于路由区域的负压值； 2中央废气处理系统应按一级负荷供电，一级负荷供电的电 量应保证系统排风量不小于正常运行时系统排风量的50%； 3排风中含有燃烧爆炸性物质时，排风机应设置备用； 4排风中含有极毒或剧毒物质时，排风机和处理设备均应设 置备用。

3.0.18废气处理系统的排气筒的设

的要求； 2排气筒的高度不能达到要求时，应按其高度对应的排放速 率标准值严格50%执行； 3排放氯气、氰化氢以及含有其他极毒物质废气的排气筒高 度除应符合本条第1款、第2款要求外，还不应低于25m； 4排气筒的出口风速宜为15m/s~20m/s； 5排气筒上应设置用于检测的采样孔，并应设置相应的监测 平台； 6一定区域内同种污染物的废气系统，其排气筒宜合并 设置； 7排风口与机械送风系统的进风口的水平距离不应小于 20m，当水平距离不足20m，排风口应高出进风口，并不应小 于6m。

3.0.21符合下列条件之一时，风管及配件应采取绝热措施：

1室外安装的废气处理系统，其排风被冷却而可能形成凝结 物堵塞或腐蚀风管； 2除尘风管内可能有结露时； 3所输送废气的温度大于或等于60℃，

3.0.22废气处理系统排风管的绝热应符合下列规定：

1安装在洁净室（区）内排风管的隔热应采用不产尘的绝热 材料，当使用产尘的绝热材料时，应为具有双层板夹绝热材料构造 的成品绝热风管； 2集成电路前工序工厂和平板显示类工厂的排风管，应采用 不燃绝热材料进行隔热。

3.0.23废气处理系统的排风机宜采取自动调速措施。

1采用相同型号、相同性能的设备； 2在每台风机或处理设备的入口设置电动或气动密闭风阀 该风阀在工作压力下的漏风率不应大于1%

3.0.25排除或输送有燃烧或爆炸危险物质的风管，不应

火墙和防火隔墙；其余酸性、碱性、挥发性有机物和特种废气系统 的风管不宜穿越防火墙或防火隔墙，当必须穿越时，防火阀的设置 应符合下列规定： 1不应设置熔片式防火阀； 2含有极毒和剧毒物质的排风系统不应设置防火阀，但紧邻 建筑构件其中一侧的排风管应采用与建筑构件耐火极限相同的构 造进行保护。 3.0.26当采用非再生式固定床吸附剂处理废气时，吸附剂的连 结工作时间不应短于全目

3.0.27废气处理系统排风机的

3.0.28废气处理系统产生的噪声，当自然衰减不能达到室内外 环境允许噪声标准时，应采取消声或隔声措施。

竞允许噪声标准时，应采取消声或隔声措施。

3.0.29当废气处理系统的风机、水泵、风管等产生的振动靠自然

衰减不能满足要求时，应采取隔振措施，其设计应符合下列规定： 1宜采用隔振台座； 2应选用刚度适宜的隔振器； 3安装在有微振要求区域内的风管宜采用隔振支、吊架。 3.0.30排风总管应设置测定孔，排风支干管应设置风量调节阀， 排风支干管较多的废气处理系统，每个支干管末端宜设置微压计。 3.0.31酸性、碱性、特种废气和除尘系统的排风管应采用圆形， 其他废气系统的排风管宜采用圆形或长边与短边之比不大于4的 矩形截面。

3.0.32选择废气处理设备时，应符合下列规定

1设备的额定处理风量应在系统计算的总风量上附 加10%； 2循环泵的流量应在系统需求流量值上附加10%； 3酸、碱、特殊及挥发性有机物废气处理设备在工作压力下 的漏风率不应大于1%； 4处理设备的承压能力不应低于工作压力的1.5倍。 3.0.33选择废气处理系统的排风机时，应符合下列规定： 1应满足工况参数及废气的温度、腐蚀性、爆炸性等特性 要求； 2 风机的风量应在系统计算的总风量上附加10%； 3 排风机风压应满足管路、处理设备和末端工艺设备需要的 负压； 4采用自动调速排风机时，排风机的压力应以系统计算的总 玉力作为额定风压，但风机电动机的功率应在计算值再附加 15%~20% ; 5排风机的选用设计工况效率不应低于风机最高效率

的90%。 3.0.34处理设备的入口和出口应设置采样口，宜设在气流稳 定段。 3.0.35 废气处理系统宜设置污染因子在线监测装置。 3.0.36排风系统应设置运行状态及排风系统故障的监控报警 系统。

4.1.1工艺设备应根据废气污染物的性质分类独立设置排出 口。 4.1.2生产所用的原辅材料应符合清洁生产要求以及相关限制 性规定。

4.1.3生产过程中不宜使用极毒、剧毒物质，当不可避免使用上

4.1.3生产过程中不宜使用极每、剧每物质，当不可避免使用上 述有害物质时，应采用自动化设备，并应采取密闭、隔离和负压操 作措施，同时应进行物料平衡计算。

4.1.4工艺设备当使用可产生全球性温室效应的全氟化合物时，

4.2.1生产工艺宜采用先进的技术和装备，减少有毒有害物质的 产生量。

4.2.2工艺设备中产生有毒有害物质的腔体应采取排风措

应保持满足工艺要求的负压值

4.3.2有毒有害物质的化学品和特气分配供应系统，应配备自动

检测、报警、安全互锁切断装置。

4.3.31 使用有毒有害化学品和特殊气体的工艺设备应设置事故

4.3.3使用有每有害化学品和特殊气体的工艺设备应设直事故 应急设施，并应具备接受外部报警信号并实施紧急切断和报警的 功能。

5.1.1碱性废气系统应设置专用系统，其他排气不应排入碱性废 气系统。

5.1.2填料洗涤式碱性废气处理系统应由排风管道、处理设备、 排风机、排气简、吸收液储存及输送系统、加药装置和控制系统 组成。

5.1.2填料洗涤式碱性废气处理系统应由排风管道、处理设备

5.1.4电子工业洁净厂房的碱性废气系统处理设备和排风机应

按一级负荷供电，使用一级负荷供电的碱性系统处理设备和

5.1.5设有回风下夹层的洁净室，排风管道宜布置在下夹层

5.2.1碱性废气系统应采用填料洗涤式处理设备

5.2.1碱性废气系统应采用填料洗涤式处理设备。 5.2.2碱性废气应在填料洗涤塔内分布均匀，吸收液应均匀分布 在整个填料层的上表面。

5.3.1填料洗涤式废气处理设备应主要包括塔体、填料、循环泵、 喷淋管道、喷头、集水槽、补排水管路、除雾器和自动控制系统， 5.3.2处理设备塔体应由耐酸碱腐蚀的材料制作。塔体应能承 受系统工作压力，工作压力下变形量不应大于1/200。 5.3.3处理设备塔体应设置观察窗和检修口。

喷淋管道、喷头、集水槽、补排水管路、除雾器和自动控制系统

5.3.4填料应具有耐腐蚀、低阻力、抗变形、比表面积大

应根据处理设备入口废气浓度、出口废气浓度、空塔速度、喷淋强 度、填料技术参数计算确定填料层数和厚度。填料设计使用寿命 不应低于5年，

5.3.5每套处理设备的循环喷淋泵应设置备用。循环

量不应小于计算流量的1.25倍，喷头设计供液压力不应低于工作 压力的1.2倍。循环喷淋泵入口应设置过滤器。 5.3.6喷淋管道应为耐腐蚀管道，管道及配件承压不应低 于 1. 0MPa。

5.3.8集水槽应为整体构件，有效容积不应小于循环管路容积及

5.3.9除雾器对大于10um粒径的水雾除雾效率不应低于99%。

5.3.12加药泵宜采用计量泵，泵体应采用耐酸碱腐蚀材质。

5.3.14填料洗涤式废气处理设备的自动控制设置应符合下列

1应设置循环液pH值、电导率、液位、填料压差和循环喷淋 泵出口压力监控装置： 2应设置可编程逻辑控制器（PLC)就地控制装置，自动控制 加药、排水、补水以及风机状态监视； 3监控信号应上传至工广中央监视控制系统。 5.3.15处理设备及加药装置四周应设置围堰或防渗集液盘，并 应设置漏液监测装置。

5.3.16设备基础、排水沟及围堰区域表面应做防腐处理。

5.3.17处理设备及加药装置附近宜设置洗眼器、淋浴器。

5.3.17处理设备及加药装置附近宜设置洗眼器、淋浴器。

5.4.1排风管道法兰垫片应采用可耐受排风中碱物质化学腐蚀

5.4.1排风管道法兰垫片应采用可耐受排风中碱物质化学腐蚀 性的垫片。

5.4.3布置在严寒、寒冷地区的加药管道、补液管道及加药罐应

5.4.4室外安装的加药管道、循环管道、排液管道应采取抗紫外

5.4.4室外安装的加药管道、循环管道、排液管道应采取抗紫外 线措施。

6.1.1一般酸性废气系统的设计要求应按本标准第5章的相关 规定执行。

6.1.2氮氧化物废气、高浓度酸废气应单独设置废气处理系统。

氮氧化物、高浓度酸及电镀废气

6.2.1含氮氧化物的酸性废气处理应符合下列规定： 1 宜采用多级喷淋处理方式； 当二氧化氮（NO2）含量超出排放标准时，应采用还原 处理； 3当一氧化氮（NO)含量超出排放标准时，应采用氧化、还 原处理； 4 综合处理效率不应低于90%； 处理过程中产生的副产物排放浓度不应超过排放标准。 6.2.2 高浓度酸废气处理应符合下列规定： 1宜在产生高浓度酸废气的工艺设备附近设置尾气处理设 备，处理后再进人中央酸废气处理系统； 2当不能设置尾气处理设备时，应独立设置废气处理系统， 并应采取多级喷淋处理方式。

6.2.2高浓度酸废气处理应符合下列规定：

1宜在产生高浓度酸废气的工艺设备附近设置尾气处理设 备，处理后再进人中央酸废气处理系统； 2当不能设置尾气处理设备时，应独立设置废气处理系统， 并应采取多级喷淋处理方式。

6.2.3电镀工艺产生的废气系统设置应符

溶液（镀）槽宜采用槽边排风罩、吹吸罩等有效的排

措施； 2 排风管道宜采用耐腐蚀、耐温的不燃或难燃材质制作 3易产生沉淀物的排风管道应设观察窗及检修口； 4各废气处理系统的冷凝废液应排至电镀废水处理系统

措施； 2 排风管道宜采用耐腐蚀、耐温的不燃或难燃材质制作： 3易产生沉淀物的排风管道应设观察窗及检修口； 4各废气处理系统的冷凝废液应排至电镀废水处理系统

7 挥发性有机物废气系统

7.1.1当采用吸附、吸附浓缩、催化氧化或蓄热氧化工艺处理挥 发性有机物废气时，应控制待处理气体的颗粒物浓度。吸附、吸附 浓缩处理气体的颗粒物浓度应低于1mg/m3，催化氧化或蓄热氧 化处理气体的颗粒物浓度应低于10mg/m（T=293K，P： 101.325kPa)。 7.1.2当采用吸附、吸附浓缩等工艺处理挥发性有机物废气时， 待处理废气的温度不宜高于40℃，相对湿度不宜大于80%。 7.1.3挥发性有机物废气处理系统的设计寿命应与工艺生产设 备的剩余寿命相适应，且不宜小于10年。 7.1.4除低沸点挥发性有机物外，当入口浓度不小于100mg/m 时，挥发性有机物的处理效率不应低于95%，当入口浓度小于 100mg/m时，出口浓度不应大于5mg/m3。 7.1.5处理设备的防火、防爆设计应符合现行国家标准《建筑设 计防火规范》GB50016、《爆炸危险环境电力装置设计规范》GB 50058的有关规定。 7.1.6当采用转轮浓缩处理挥发性有机物废气时，浓缩后的挥发 性有机物废气浓度不应大于爆炸下限的50%。 7.1.7热氧化设备的保温应符合下列规定： 制数原温数

宜采用水型的保温材料： 2不锈钢管道和设备的保温材料氯离子含量应小于 25ppm; 3保温材料材质应根据温度确定。 7.1.8 风机进出口应设置软连接。

7.2废气收集、排风管道系统

7.2.1排风系统应配置备用风机，且排风机应按一级负荷供电， 使用一级负荷供电的风机风量应大于系统排风量的50%。 7.2.2经处理后的工艺设备排出的挥发性有机物废气不应循环 使用。 7.2.3诊 设计排风管路系统时，应避免风管内挥发性有机物蒸汽 积聚。 7.2.4设置自动喷淋系统的排风管，应避免喷淋排水回流到工艺 设备，风管支撑系统应能承载喷淋时风管系统的重量。 7.2.5挥发性有机物废气排风管的设计不宜选用易出现气体泄

7.2.5挥发性有机物废气排风管的设计不宜选用易出现气体

7.3.1挥发性有机物废气的末端处理方式应符合下列规定： 1 浓度在50mg/m（甲烷计）以下时，可采用活性炭吸附法； 2 浓度不高于1000mg/m3时，宜采用转轮浓缩和热氧化 工艺； 3 浓度高于1000mg/m时，宜采用热氧化工艺。 7.3.2 活性炭吸附系统应符合下列规定： 1 吸附剂与气体的接触时间宜为0.5s～2s； 2 所用活性炭的四氯化碳吸附率质量分数宜大于60； 3 活性炭颗粒直径不宜大于3mm； 4 设备进出口应设置压差报警装置： 5 应设置消防措施； 当采用固定床方式时，活性炭吸附剂连续工作时间不应少 于3个月。

7.3.1挥发性有机物废气的末端处理方式应符合下列规定 1 浓度在50mg/m（甲烷计）以下时，可采用活性炭吸险 2 浓度不高于1000mg/m3时，宜采用转轮浓缩和热 工艺； 3 浓度高于1000mg/m时，宜采用热氧化工艺。 7.3.2 活性炭吸附系统应符合下列规定： 1 吸附剂与气体的接触时间宜为0.5s～2s； 2 所用活性炭的四氯化碳吸附率质量分数宜大于60； 3 活性炭颗粒直径不宜大于3mm； 4 设备进出口应设置压差报警装置： 5 应设置消防措施； 6 当采用固定床方式时，活性炭吸附剂连续工作时间不 于3个月。

7.3.3转轮浓缩系统应符合下列规定：

系统应由转轮吸附浓缩设备和直动控制系统等组成：

7.3.8含高沸点挥发性有机物废气宜采

理，处理系统应符合下列规定：

系统应主要由冷凝过滤设备和自动控制系统组成； 冷却器内的冷水供水温度不宜大于8℃； S 冷却器出风温度不应大于12℃； 4 冷却器后应设置除雾器； 液体应排放至指定的安全容器内； 末端过滤段应针对小于10μm雾滴进行处理。

7.4.1活性炭吸附设备设置应符合下列规定： 1 当废气中颗粒物浓度大于1mg/m3时GB/T 26168.4-2010 电气绝缘材料 确定电离辐射的影响 运行中老化的评定程序，宜设置预过滤器； 2活性炭过滤风速宜为0.2m/s～0.6m/s，设备阻力不宜大 于1000Pa; 3 活性炭应设置滤料温度检测及超温报警装置； 4设备壳体及框架的材料应与所处理气体成分相适应； 5设备强度应能满足承压要求； 6吸附设备的基本性能应符合现行行业标准《环境保护产品 技术要求工业废气吸附净化装置》HJ/T386的有关规定

2活性炭过滤风速宜为0.2m/s～0.6m/s，设备阻力不宜大 于1000Pa; 3活性炭应设置滤料温度检测及超温报警装置； 4设备壳体及框架的材料应与所处理气体成分相适应； 5设备强度应能满足承压要求； 6吸附设备的基本性能应符合现行行业标准《环境保护产品 技术要求工业废气吸附净化装置》HJ/T386的有关规定。 7.4.2车 转轮浓缩设备的设置应符合下列规定： 1吸附区的设计面风速不宜大于3m/s，转轮厚度不宜小 于400mm; 2车 转速宜为2转/h～6转/h； 3车 转轮应分为吸附区、脱附再生区和冷却区三个区域； 4 吸附区、脱附区和冷却区之间应密封隔离，漏风率不应大 王1%

1吸附区的设计面风速不宜大于3m/s，转轮厚度不宜小 于400mm; 2车 转速宜为2转/h～6转/h； 3车 转轮应分为吸附区、脱附再生区和冷却区三个区域： 4 吸附区、脱附区和冷却区之间应密封隔离，漏风率不应大 于1%，

7.4.3热氧化及热回收设备的设置应符合下列规定：

1废气热氧化温度应控制在730℃～850℃，滞留时间不宜 小于0.75s； 2热氧化设备应设置绝热措施，并保证炉体外表面温度不应 高于60℃;

GB/T 26791-2011 玻璃比色皿 3换热器宜采用管壳式