GB 51392-2019 标准规范下载简介：

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GB 51392-2019 发光二极管生产工艺设备安装工程施工及质量验收标准

本标准指对安全、节能、环境保护、正要便使用功能等起决 作用的检验项目。

general control items 1 t0

GB/T 34109-2017 旋挖机钻杆用无缝钢管本标准指主控项门之外的其他工

3.0，1施工单位应按设计文件、设备安装指南或安装说

签证，并应得到建设单位的同意。

3..4施工前应根据项日生工艺流程及特点对T艺设备安装 进行技术交底并制定施工方案。基本非产艺流程可按本标准附 录A执行

3..4施工前应根据项日生工艺流程及特点对T艺设备安装

3.0.5设备安装前应设套基播外形尺寸、坐标位置、标高、平

.6在室内堆放的施工材料、设备及物品成整齐有序，并应进

3.0.9在施工过程或T程竣.验收前，应做好设备、材料及装 置的成品保护。 3.0.10施工中各工序应按本标准进行随.广检验和交接验收，并 应形成书面记录；上道工序未经检验合格、不得进行下道工序 施工。

4.1.1开箱前的生产设备宜放置在专厂门的仓库中储存，储存环境 立于燥，通风·开应便于搬运：暂时存放在露天的生产设备宜垫高 并应采取防火、防潮、防雨措施，

4.1.1开箱前的生产设备宜放置在专门的仓库中储存，储存

4.1.2曦光机、M0CVD等生产设备应按设备的储存要求进行

4.1.6设备包装开箱应及时按原装箱清点，当装有展动感

4：：设备包装开相及时按原装相中消点，卫装展动感证器 及倾斜感应器时，应记退是否完好

地系统设施应通过测试格

4.2.5设备基础应满足安装要求。

1 设备安装时应预留设备操作、维修空间： 2设备有防微振控制或特别承重要求时，应来取相应的 振或提高承裁能力的措施

4.2.10设备需独立基础时应符合下列规定：

4.2.15设备布局、位置坐标应符合下列规定

1施工前应明确设备布局，确认设备布置图纸的准确； 2根据设备布置图确认设备安装基准线，

施1必明确设备布局，晰认设备布直图纸的准确； 2 根据设备布置图确认设备安装基准线。 .16 施厂前施工单位应向建设单位提供如下文件： 1 施工方案； 2 人员、机具进场计划； 3 事故应急预案。

4.3.1设备开箱前应检查包装箱有无破损、没水现象。包装箱有

4.3.2 设备开箱时应检查下列内容： 1 箱号、装箱清单： 2 设备的名称、规格型号： 3 设备的技术文件； 4 设备的随机附件、专有工具。 4.3. 3 设备开箱官采用专用开箱工具。 4. 3.4 设备箱体不得倒置，有防震、防倾斜要求的，应采取防护 措施。 4.3.5 设备元箱不宜在运输车上开箱。 4.3.6 设备开箱宜从顶板开始、再拆除四箱板、宜保留设备 箱底。 4.3.7 设备零部件清点后应安全有序存放。 4.3.8 设备开箱店应检查设备外观是否完好无损。 4.3. 9 设备箱检验应做好记求。 4.3.10 设备包装材料应做好回收处理，进门设备的木质包装材 料应检疫合格居方可处理，

1应规划好搬运路线图，并应标注清楚路障、设备尺寸和重 等标识； 2应制定专项方案，并应经过建设单位伺意； 3 应对作业人员进行技术、安全交底； 4 应对作业车辆、工机具及安全防护措施进行全面检查。 4.4.27 在搬运设备时，搬运通道应平整、通畅，在整个搬运过程 中，设备应平稳行进。 4.4.3 对于有恒温恒湿要求的精密设备：应及时搬入洁净室 (区)。 4.4.4对于有防微振要求的设备，应米用相应技术措施进行 搬运。 4.4.51 设备搬运应符合现行行业标准《化工工程建设起重规范 HG/T20201的有关规定。 4.4，6起吊旋转过程中，起重臂、钢丝绳或设备应与架空线缆保 持1m以上安全距离。 4.4.7起吊软包装或无包装的设备时应符合下列规定： 1起吊使用的吊索根据设备重在满足负荷要求的情沉下， 宜采用柔软吊索； 2吊索捆绑位置避开仪表及结构脆弱部位，起吊时应注总 设备的重心，并证防止设备倾斜跌落； 3起吊区域下方应设置安全隔离及警示标志，设备起吊时严 禁人员进入起吊区域下方； 4设备起吊不宜过高，以能顺利拆除外包装箱底为宜； 5起吊时应控制提升和下降速度，不得产生冲击、碰撞现象； 6设备起吊过程中，宜采用附缆控制方向。 4.4.8设备从搬人平台、搬人口、气闸室至洁净室（区）安装就位 时，成符合下列规定： 1所经路线的墙壁、墙角、门框、地面应来取保护措施；

4.4.6起吊旋转过程中，起重臂、钢丝绳或设备应与架空缘

4.4.7起吊软包装或无包装的设备时应符合下列规定

4.4.7起吊软包装或无包装的设备时应符合下列规定： 1起吊使用的吊索根据设备重在满足负荷要求的情沉下， 宜采用柔软吊索； 2吊索捆绑位置避开仪表及结构脆弱部位，起吊时应注总 设备的重心，并证防止设备倾斜跌落； 3起吊区域下方应设置安全隔离及管示标志，设备起吊时严 禁人员进入起吊区域下方； 4设备起吊不宜过高，以能顺利拆除外包装箱底为宜； 5起吊时应控制提升和下降速度，不得产生冲击、碰撞现象； 6设备起吊过程中，宜采用附缆控制方向。 4.4.81 设备从搬人平台、搬人口、气闸室至洁净室（区）安装就位 时，成符合下列规定： 1所经路线的墙壁、墙角、门框、地面应米取保护措施； 2保护的材料不应产尘、集尘：

3搬运路线上地面承载能打不测定要求时，应做好加固工 作，加固材料应符合洁净室使用要求 4隔拆除门或墙板时，拆除居应做好保护并应及时恢复； 5进人净区的设备，机具等装置应进行活净处理

3搬运路线上地面承载能力不测足要求时，应做好加固工 作，加固材料应符合活净室使用要求： 4隔拆除门框或墙板时，拆除居应做好保护并应及时恢复： 5进人洁净区的设备、机县等装置应进行活净处理

5.1.1设备进场度由施工单位，监理单位、建设单位代表共同验 收，设备包装箱应无损坏，设备型号、规格、数罐应无误，装箱清单、 品质量合格证、性能检测报告及产品说明书等随机文件、附件应 齐全，进口设备还应有商检合格证明文件，并应形成验收记录

5.1.2在地坪上直接安装设备应符合设备厂家的固定要求。

5.1.7设备配备气体泄漏报警装置的，安装单位应根据技不

5.2.2设备四周应保留大产1m的维修保养空间。在规划设备

5.2.3MOCVD设备安装应符合下列规定：

1设备水平就位后，根据技术文件及施二方案接入动方电 冷却水和大亲体，排风接人二次配管； 2电汽线路相位应正确，动力线供电电缆应满足设备技术文 件的要求； 3在有不间断电源（UPS）的厂房，应按照设备技术文件 连接： 4 接地连接应伞固、可靠： 工艺气体管道及管道部件应使用SL'S316L.EP（不锈钢 材料： 6 i 设备冷御水流量、压疗、温度、水质应符分设备技术文件 要求； 7i 设备能气接门应接人房相应的废气处理系统： 8设备循环冷系统底配置应急电源。

5.3芯片制作设备安装

5.3.1蒸发镀膜设备的安装应符含下列规定： 1 设备冷却水流量、压力、温度、水质应符合设备技术文件 娄求; 2 七艺气体管道及管道部件应使用SUS3161.（不锈钢） 材料； 3 设备尾气接门应接人！房相应的废汽处理系统。 5. 3. 2 等离子体增强化学的气相沉积法（PECVD）设备的安装应 符合下列规定： 1 工艺气体管路及真案整路应正确接人： 2气体管道及管道部件应使朋耐腐蚀不锈钢材料;

3设备冷御水流随、压万、溢度、水质应付分设备技术文件 要求； 4设备工艺用的每一类特种气源成由满足技术文件要求的 独立气源接口接人，其接口应符合对应气体的特种要求，并应在接 门附近设置气路手动截止阀

5.3.3F 反应离子刻蚀机的安装应符合下列规定： 叫通过调节四个地脚螺栓高度来调平承片台； 2 设备尾气口应接人，房相应的废处理系统： 3设备压缩空气应由满足技术文件娶求的气源接[1接人，气 源接口应满足设备用气量要求，气源接门应能承受不小于 0.5MPa的气源压力； 4设备.艺气管道及宵道部件成使用SUS3161.材料： 5设备循环冷却水流量，压力、温度、水质应符合设备技术文 件要求； 6刻蚀电极应独艺装循环冷制水系统，水压、水温、水质应 满足设备使用要求。 5.3.4勾胶设备的安装应符含下列规定： 可调节四个地脚螺栓尚度使勾胶承片台水平： 应设置与工艺线排风管道相连接的接口； 3 高速旋盘上方应安装可靠的防护罩； 4工作台应设有减振装置； 5 自动滴胶系统的安装、储胶罐的接口密阴情况及胶阀的气 玉应符合要求： 6断电保护装置应运行正常。 5.3.5曝光机的安装应符合下列规定： 1设备安装前应定制基座用来防震，安装时可过反复调节 个地脚螺栓高度使得曝光机承片台水平，并应用水平仪进行检 测确认; 2设备配备二级过滤和二级调压气阀的,安装压缩空气时应

1叫可通过调节四个地脚螺栓高度来调平承片台； 2设备尾气接口应接人，房相应的废处理系统： 3设备压缩空气应由满足技术文件要求的气源接【1接人，气 源接口应满足设备用气要求，气源接门应能承受不小于 0.5MPa的气源压力； 4设备工.艺气管道及骨道部件成使用SUS3161.材料； 5设备循环冷却水流量、压力、溢度、水质应符合设备技术文 件要求： 6刻体电极应独安装循环冷御水系统，水压、水温、水质应 满足设备使用费求，

5.3.4勾胶设备的安装应符含下列规定

1 可调节四个地脚螺栓尚度使勾胶承片台水平； 2 应设置与工艺线排风管道相连接的接口： 3 尚速旋盘上方应安装可靠的防护罩： 4 工作台应设有减振装置； 5 自动滴胶系统的安装、储胶罐的接口密阴情况及胶阀的 压应符合要求； 断由保控游器应正常

3.5曝光机的安装应筹合下：

1设备安装前应定制基座用来防震，安装时可近过反复调节 四个地脚螺栓高度使得曝光机承片台水平，并应用水平仪进行检 测确认； 2设备配备一级过滤和二级调压气阀的，安装压缩空气时应

3.6显影设备的安装应符合

1可通过调节四个地脚螺栓高度，使得真空吸盘皂水平状 态，并应用水平仪进行测试和确认： 2显影腔的排风系统应与厂房内相应的排风系统相连接； 3应正确接人压缩空气、氮气及真空三种气路，以及冲洗用 纯水管路： 4设备应具备排废液管道，废液管应接入相应的废液处理 系统。

1 可通过调节四个地脚螺栓高度来调平抛光台； 2抛光废液应回收处理，抛光废液管应接人相应的废液处 系统。

5.4，1芯片粘片机的安装应符合下列规定： 1 设备放置到固定工位之前不得拆卸固定块： 2设备在拆卸固定块后，工作组件可顺畅地移动到工作范 的任意位置而不会自行滑动到某个位置

5.4.1 心片格片机 正 1设备放置到固定工位之前不得拆卸固定块： 2设备在拆卸固定块后，工作组件可顺畅地移动到工作范围 的任意位置而不会自行滑动到某个位置。 5.4.2共晶焊机的安装应符合下列规定： 1设备放置到周定工位之前不得拆卸固定块； 2设备在拆卸固定块后，工作组件可顺畅地移动到T作范围 的任意位置而不会自行滑动到某个位置： 3 安装导轨时应调整到滑动运行目如； 4 操纵部件应灵活，可稳定吸取或夹取相应的器件。 5.4.3 引线键合机的装应符合下列规定： 1 设备放置到固定工位之前不得拆卸固定块； 2设备在拆卸固定块后，工作组件可顺畅地移动到工作范围 的任意位置而不会自行滑动到某个位置；

安装导轨时应调整到滑动运行白如。 5. 4. 4 倒装焊机的安装应符合下列规定： 设备电源接人应符合要求： 2 倒装焊机外壳应接地； 3设备应配置压缩空气、.L艺真空、氮气.三种气源接口，以及 ·个水源接口。

1由机械手上片的丝网印刷机应确保吸片头的各个吸盘调 整在同一水平面上：

5.5.1探针测试设备的安装应符合下列规定：

.5.探打伙 守巨下列规 1设备应远离产生脑蚀性气体、液体或有较强振动、电磁十 优的其他设备： 2设备安装后应保证摄像头不与任一可动部件运行时相触碰； 3 设备安装环境应有恒湿措施。 5.5.2 激光测厚仪的安装应符合下列规定： 1 测厚仪的上作台应放置于稳固、防振桌面并应固定； 应遂一调节地脚螺栓，将测量工作台调至水平。 5.5.3 X射线检查仪的安装应符合下列规定： 1设备应远离产生腐蚀性气体、液体或有较强振动、电磁于 扰的其他设备； 2 应检查各丝打导轨是否有润滑洒，若没有则应及时补充 3设备的射线防护设施应安装准确并设置防辐射警示设施

1设备应远离产生腐蚀性气体、液体或有较强振动、电磁于 扰的其他设备： 2应检查各丝杠导轨是否有润滑油，若没有则应及时补充； 3设备的射线防护设施应安装准确并设置防辐射警示设施

5.6.1设备二次配管配线作业应在设备安装完成，找

设备二次配管配线作业应在设备安装完成，找平、调平并 格后进行，并应复核设备的接口位置、种类、数量、尺寸、形

5.6.2二次配管配线的材料选择应符合下列规定：

1二次配管配线的材料应满足设备技术说明的要求，无明确 要求时应主系统一致： 2氧气管道、管件、垫片及其他附件都应脱脂； 3洁净室内的电配管宜米用外表面光滑的金属管，与设备 连接采用的穿线软管应为不燃材料； 4特种气体、大宗气体、纯水和化学品系统的二次配管配线 应符合现行国家标准《特种气体系统工程技术规范》GB50646 《天宗气体纯化及输送系统.握技术规范》GB50724、《电子T.业 纯水系统设计规范CB50685和《电子工厂化学品系统工程技术 规范》GB50781的有关规定。

计，不垃在操作面布置管线，还应符合下列规定： 1当管线穿越吊顶、壁板、地板需要开孔时，升洞位置应避开 梁、柱、主龙骨、封口。开洞应用升孔器，不得莆或火焰切割。 2开洞过程中应用中央真空清打系统或洁净室专用吸尘器 不间断地吸除切屑及粉尘，并应符合现行国家标准《微电·广生产设 备安装工程施工及验收规范》GB50467的有关规定。 3管线安装完成后，可来用不锈钢、铝、硬PV或镀锌密 件封堵洞口密隙，并应用硅胶密封。 5.6.4从配管连接到新安装设备时，应从一次配管上预留阀门启 接至设条相应接1·不得在一次配管上新开三通接管。 5.6.5高纯介质二次配智应先在专设的防尘、防静电的洁净小室 内预制成组件，冉搬人洁净厂房安装，洁净小室的洁净度不应劣于

5.6. 6输送大宗气体、非腐蚀快

5.6.7生产设备、电气配管、氢气配管、氧配管的接地应

5.6.8在有生产丁艺设备生产的区域进行安装施工时

配线应符合下列规定： 1施工中进行焊接等产烟火作业时，应采取相应的防护提 施，配备相应的消防工具 2毛产区和安装区之间应采取临时隔离搭施； 3垂直作业时应采取安全隔离措施，并应设置危险警示 标识。 5.6.9二次配管安装完成后，管道可与一次管道系统··并进行压 力试验，并应符合下列规定： 1试验介质应采用高纯氮气或高纯氟气其纯度不得低于管 道工作介质纯度： 2不宜采用水压试验： 3试验用压力表宜采用专用管道压力测试记录仪，当采用普 通压力表时，其精度不应低于1.5级：； 4管道设计压力小于0.6MPa时，试验压力应为设计压力的 1.15倍； 5管道设计压力大于或等于0.6MPa时，应按设计文件规定 试压，并应采取安全措施。 5.6.10二次配管压力试验完成斤应脱开设备用性气体进行冲 （吹）洗。冲（吹）洗气体的纯度不应低于管网输送介质的纯度。 5.6.11二次配管施丁完成后应进行质检验，并应按本标准附 录B表B.0.2记录。二次配管压力试验冲洗时，应按本标准附 录 B表 B. 0. 3记录

5.7.1生产设备安装工程质量主控项门应符合下列规定：

1 生产设备安装工程质量主控项门应符合下列规定： 1 设备安装的平面坐标位置应符合设计要求 2 垫板安装位置应维确、接触应紧密、无松动现象：

3防位移、防倾项倒的压板设直方可应确、系固年靠； 4特殊基础上平面水平度、安装水平度应符合要求，调整水 平度的螺脚均应与垫板紧密接触； 5设备安装的水平度、垂直度应符合设备安装使用说明书的 要求： 6二次配管的管材、管件、阀门应符合设计要求·升应有产品 合格证和产品质量证明书： 7管线布置和走向应符合设计要求； 8管道的对接焊缝处及曲管处不得焊接支管，焊缝距起弯 点、支吊边缘应大于50mm 9二次配管压力试验应符合本标准第5.6.10条的相应 要求； 10一次配管冲（吹）洗按本标准第5.6.11条的规定进行，用 洁净白绸猫检查，无污染物应为合格； I1一次配线的电线、电缆规格、型号应符合图纸要求，绝缘 相序险符会设备技术文件，并应符合现行国家称准《建筑电气工程 施工质量验收规范》（B50303的有关规定； 12接地连接应正确可靠，并应符合现行国家标准《电气装置 装工程接地装罩 9的有关规定

6不锈钢管与碳钢支吊架、管卡之间的隔离应无遗漏。 阀门安装应符合下列规定： 1）型号、规格应符合设证要求： 2进出【1方向应正确： 3)手轮朝向应合理。

不锈钢管与碳钢支吊架、管卡之间的隔离应无遗漏。 阀门安装应符合下列规定： 1）型号、规格应符合设证要求： 2）进出【1方向应正确： 3)手轮朝向应合理。

6.0.1设备单机调试及试运转应在设备安装和二次配管究成 应经检验合格后进行。设备单机调试及试运转应由建设单位 实施，设备单机调试及试运转结论应有记录并应符合本标险 B 表 B. 0. 7、表 B. 0. 8 的要求。

1设备应安装完毕并自检合格； 2设备所需备种气体动力配管配线应已可设备接通，各种介 质的各项参数符合设备使用要求； 3给水、排水、排气、排风管路应已与设备接通； 4电气线路相位应正确，接线端子连接应牢固、可靠，器件接 线应正确，无短路、断路现象； 5接地应正确，连接牢固、可靠，接地电阻应符合设备要求； 房间浩净度，温、湿度：照度，静电防护指标应测试合格； 7 室内各项安全设施和消防设施应满足使用要求。 6.0.3 镀膜机试运行应符合下列规定： 1 待溅射基板应清洗，并应在烘下后安装到机内的载片 台上： 2 设备通电后应检查设备操作软件是否工作正常； 3 应检查各个运动部件是否正常，并应对各个运动部件进行 位校正； 4应安装好溅射靶材，靶对机壳的绝缘电不得小F1MQ 5应检测设备管路接口是否漏气，具备加热功能的管路应先 空载烘烤； 6启动机碱泉分子泵、低温泵时，运行状态应正常，噪声、

6.0.4PECVD设备试运行应符合下列

1应检查紧急按钮是否有效： 2启动真空泵时真空室真空度可在规定时间内降到规定值 级限真空度不应人于5Pa： 3设备工艺反应腔漏气率不应大于1.5Pa/min； 4应根据设备要求设置离纯氮气或氮气等保护气体流证，升 位向炉内通人保护气体进行吹扫： 5应在抽气正常的情况下通人工艺气体，运行淀积程序进行 定积时，应定期检查工艺“体和保护体流业。

艺气体流望、射频电源电压、刻蚀时间，进行刻蚀工艺。 5设备应具备光学发射光谱法终点检测系统。 6.0.6 匀胶设备的试运行应符合下列规定： 1 应备好光刻胶、基片等材料及相应的工具 2运行设备，设备白动开合旋涂盖功能、涂胶单元真空吸附 功能应正常： 3涂胶功能、顶针上下运动功能、加热部件真空吸附功能应 正常，涤涂胶台应润滑良好： 4应设置好胶阀压力、滴胶时间、旋涂转速、旋涂时间和热板 温度； 5应分别设定烘烤温度为60℃，120℃和180℃，待温度稳定 后：应在加热器表面200mm范围内选择心点及外圆周上与X 抽、Y轴相交的四点等五处进行温度测辈，然后计算平均值，所测 各点的温度值与平均值相比较时，允许偏差为士1.5%； 6应分别用手动模式和自动模式进行旋涂操作，其他参数应 保持致。

6.0.7曦光机的试运行应符合下列规定：

1曝光系统应具有光强调节装置，光源调节应灵活可靠，嘎 光均匀性应随分辨率要求而定； 2打开曝光机永灯预热30min后·应用紫外线测量仪测氧 承片台上、下、左、者中五处的光刻强度，均勾度充许偏差为土5% 并应根据测量强度设置好光刻能载： 3准备工作做好后应进行接触式或投影式光刻，光刻后应及 时显影：

应先连接好亚影液供应管道、去离子水管道： 2开机居应设置好工艺液体的温度和喷头喷溅压力；

3应设定好真空吸盘旋转速度、亚影时间、漂洗时间、冲洗时 间以及主轴转速，并应进人工艺设置选项设置好试运行工艺步骤： 4 应按设定的参数和工艺步骤进行自动显影、清洗操作； 5进行显影、漂洗和烘干工序操作时基片均应有氮气保护， 工艺结束后应白动进行氮气吹干和高速甩干： 6设多运行时应无动和噪有

相连的气路井试触发； 3应调节加热系统的温度，以常用的儿称焊料分别设置共晶 温度，到达设置温度后应用计合格的温度计测望加热分的实际 温度： 4应设置焊接压力、共陷温度、摩擦频饮摩擦幅度； 5待加热台温度稳定后应打开氮气阀门、调节流量·操纵设 备花样品上进行芯片焊接试验，焊接时吸嘴应避免接触加热件表 面，应能顺畅地无成整个焊接过程

1触发打火杆、线夹等部件并移动键合机手柄时应确保运转 灵活： 2应根据设备的要求调节气体压力并试触发线夹，压缩空气 应符合要求： 3应调节加热系统的温度并设置到常用键合温度，到达设罩 温度后测量实际温度应达到工作要求； 4应设置键合超满的功率与时间、键含压力： 5操纵设备在样件上进行键合试验，操纵部件应灵活，在设 定参数的状态下可有效键合； 6全自动键合设备应具有断线检测报警、元焊线报降、错误 垃置报解和打火尖败报整功能： 7全自动键合设备在防误动作保护下，计机屏据.已的参数 应禁止修改，开关或阀门等不能操作，

1应确认设备后面板上的压缩空气、负压、氮、水冷管路安 装连接无误后开启所需气路阀门及调节阀： 2应打开设备的总电源开关、打开工控机的电源，关上主操 作面板的升机”片关： 3在系统操作界面运行设备操作软件前应进行初始化直至 系统提示“待机”状态；

4应在主控界面分别运行并检测机械系统、光路系统、气路 系统、显示系统和加热系统； 5应设置超声时问、超声功滤、焊接压力、加热温度，完成对 样品电路的加工； 6设备应具备热台温度超温报势。 6.0.14丝网印刷机的试运行应符合下列规定： 1设备月检通过后应将网版装入网版槽内，按下锁紧装置 查看网版是否被锁紧； 2[ 应加人焊料并完成印刷的主要工艺参数设置和焊料的 印刷； 3在保证印刷工艺参数设置合理时，应用口动光学检测仪检 查网印质册，印刷图形应究整、边缘应齐整。

6.0.15探针测试设备的试运行应符合下列规定：

1应安装测试专用夹具，并应将待测晶圆通调节手柄安装 到夹具上； 2启动设备总电源，应正常进人初始化界面： 开机后设备应无展动或杂音； 4对配有标准测试板的设备应调入测试文件和校准板进行 坐标系统校准、测试针和摄像头校准； 应进入测试参数设定界面进行测试参数设定； 测试时设备应自动生成并打印出测试结果： 7应在设定的测试参数基础上对品圆进行通断验证，并应符 全凯欧洲试结单

6.0.16激光测厚仪的调试及试运行应符合下列规定：

1 应仔细观察测传动轴运动时应顺畅无异响； 2应根据设备技术要求由专业人员使用计量合格的校准件 进行校准； 3激光对焦干分尺旋钮使用中应顺畅，并应能自锁； 4测量范围应满足技术指标要求。

6.0.17X射线检查仪的调试及试运行应符合下列规定

将待测样件放到设备载片台.、夹持好或吸附住后，应关 闭开锁定设备安全门： 2斤启总电源，控制.1作台运动，各个运动部位应在运行平 慈的状态下使红色指示光标指到得检样件中心位置； 3X光开关开启前必须确保设备安全门处于关闭状态； 4启动X光开关按钊逃行设备辐射强度检测，合格后调节 测试参数，设备应能达到显小清晰阁像的效果

度的精确度。 8应测试设备提供的可供模拟生产丁艺用的测试工艺配 以确认设备经调试已经准备好交给业主做工艺验收。

度的精确度。 8应测试设备提供的可供模拟生产工艺用的测试工艺配方 以确认设备经调试已经准备好交给业主做工艺验收

7.1.1生产设备安装工程验收宜分为交接验收与.「验收。

7.1.4设备交接验收应按设备安装工程及设备配管配线工程各 划分为一个分项工程，每台设备的安装工程及每台设备的配管配 线工程各划为一个检验批进行。

7.2.1交接验收成建设单位组织，并应根据施工合同

及设备技术文件的规定进行交接验收。 7.2.2 交接验收时施工单位应提交下列资料： 1 生产工艺设备安装工程施工合同： 2 主要材料合格证或质量保证书； 3 设备开箱检查记录； 4 管道焊接检验记录； 5 设备按功能检验批质量验收记录； 6 设备配管配线的检验批质童验收记录； 7 设备二次配管压力试验、冲（吹）洗记录； 8 踏工图及设计变更文件： 9 工程质量事故处理记录。

7.2.2交接验收时施工单位应提交下列资料

7.3.1建设单位接到生产设备调试单位按本标准附录B表 B.0.4填写的《生产设备安装工程交接（竣工）验收报告》后，应组 织安装施工单位、供货单位、设计单位组成验收组，并应根据施工 合同、设计文件、本标准及设备技术文件行生产设备安装工程龄 工验收。

7.3.2设备安装工程竣工验收时，调试单位应提供每台设备 机试运行记录。

审核、检查。检查时应做好记求，各项指标符合设计要求应判为合 格。审查内容应包括设备安装、配管配线和设备技术指标。 7.3.4验收组应对工程质量进行评价，并应提出验收结论HG/T 4770-2014 电力变压器用防腐涂料，同时 应填写本标准附录B表B.0.6，参加验收各单位代表应签字。

审核、检查，检查时应做好记求，各项指标符合设计要求 格。审查内容应包括设备安装、配管配线和设备技术指材

7.3.4验收组应对工程质量进行评价，并应提出验收结论，

7.4.1当生产设备安装工程，设备二欲配管配线安装工释不符合 质量要求时，应按下列规定处理： 1经返工返修后的设备，安装检验批、二二次配管配线检验批 应重新进行验收； 2经返工返修后的检验抵能满足安全和使用性能要求时，可 按技术处理方案和协商文件进行让步接收。

7.4.2经返工返修仍不能满足安全使用和性能要求的分项

GB 28305-2012 食品添加剂 乳酸钾7.4.2经返工返修仍不能满足安全使用和性能要求的分项工程 不得验收。

附录 A发光二极管基本生产工艺流程

B.0.4 生产设备安装工程交接（竣工）验收记录应符合表B 的规定