GB/T 6621-1995 硅抛光片表面平整度测试方法 更新时间:2008年02月19日 资源 GB/T 6621-1995 硅抛光片表面平整度测试方法 积分0.00 特惠 积分0 VIP全站资料免积分下载 立即下载 同类资料根据编号标题搜索 文档 仅供个人学习 反馈 标准编号:GB/T 6621-1995 文件类型:.rar 资源大小:251.0KB 标准类别:国家标准 资源ID:8493 VIP资源 GB/T 6621-1995标准规范下载简介: GB/T 6621-1995 硅抛光片表面平整度测试方法 本标准规定了用相干光的干涉现象测量硅抛光片表面平整度的方法。本标准适用于检测硅抛光片的表面平整度,也适用于检测硅外延片和类镜面状半导体晶片的表面平整度。 城镇建设标准 民用航空标准 环境保护标准 水利标准 地方标准 劳动安全标准 文化标准 金融标准 土地管理标准 化工标准 商检标准 ©版权声明 资源来自互联网,如有侵权请联系删除 同类资源: 上一篇 GB/T 6620-1995 硅片翘曲度非接触式测试方法 下一篇 GB/T 6624-1995 硅抛光片表面质量目测检验方法 相关文章