GB/T 15615-1995 硅片抗弯强度测试方法

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标准编号:GB/T 15615-1995
文件类型:.rar
资源大小:246.0KB
标准类别:国家标准
资源ID:8264
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GB/T 15615-1995标准规范下载简介:

GB/T 15615-1995 硅片抗弯强度测试方法 本标准规定了硅单晶切割片、研磨片和抛光片的抗弯强度测试方法。本标准适用于晶向为〈111〉和〈100〉的直拉、悬浮区熔硅单晶片的常温下抗弯强度的测量。硅片厚度为250~900μm。
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