GB/T 13387-1992 电子材料晶片参考面长度测量方法

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标准编号:GB/T 13387-1992
文件类型:.rar
资源大小:142.0KB
标准类别:国家标准
资源ID:8213
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GB/T 13387-1992标准规范下载简介:

GB/T 13387-1992 电子材料晶片参考面长度测量方法 本标准规定了电子材料晶片参考面长度的测量方法。本标准适用于测量各种直径的硅抛光片、研磨片和切割片的参考面长度。也适用于测量砷化镓、蓝宝石和钆镓石榴石等材料晶片的参考面长度。
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