GB/T 14140.1-1993标准规范下载简介：

GB/T 14140.1-1993 硅片直径测量方法 光学投影法 本标准规定了用光学投影仪测量硅片直径的方法。本标准适用于测量圆形硅片的直径。测量范围为声φ40～φ100mm本标准不适用于测量硅片的不圆度。本标准用作仲裁测量方法。