GB/T 16943-1997标准规范下载简介：

GB/T 16943-1997 电子工业用气体 氦 标准规定了电子工业用氦气的技术要求、检验方法以及包装、标志等，适用于以深冷法从天然气、空气或工厂弛放气提取的高纯度氦，在半导体及其器件生产中用作清洗气、加压气，也用作载气和保护气等。