GB／T 41652-2022标准规范下载简介：

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GB／T 41652-2022 刻蚀机用硅电极及硅环.pdf

1产品应进行检验，保证产品质量符合本文件及订货单的规定。 2需方可对收到的产品按本文件的规定进行检验，若检验结果与本文件或订货单的规定不 应在收到产品之日起3个月内向供方提出，由供需双方协商解决，

产品应成批提交验收，每批应由同一规格、同一根硅单晶加工的硅电极或硅环组成。

6.3.1每批产品应对导电类型、几何尺寸、表面粗糙度、表面质量进行检验，电阻率及径向电阻率变化 由供需双方协商确定是否检验。 6.3.2产品的晶向及晶向偏离度、氧含量、碳含量、晶体缺陷由供需双方协商确定是否检验并在订货单 中注明。如需检验则由供方进行，并在随行文件中提供检验结果。

符合表3的规定，如对取样有特殊要求，由供需双

GB/T 416522022

6.5.1导电类型、晶向及晶向偏离度的检验结果中如有任一试样的任一检验项目不合格时，判该批产 品不合格。 6.5.2电阻率、径向电阻率变化、表面质量检验结果的判定由供需双方协商确定。 6.5.3几何尺寸、氧含量、碳含量、晶体缺陷、表面粗糙度的检验结果中如有任一试样的任一检验项目 不合格时，则对不合格的项目按照表3中对应的规定进行重复试验，重复试验结果仍有不合格者，判该 批产品不合格。

6.5.1导电类型、晶向及晶向偏离度的检验结果中如有任一试样的任一检验项目不合格时，判该批产

7标志、包装、运输、贮存和随行文件

产品包装箱外应标有“小心轻放”“易碎”“防腐”“防潮”字样或标志，并注明： a）供方名称； b）产品名称； ）数量。

产品应贮存在清洁、于爆的环境中。

每批产品应附有随行文件，其中除应包括供方信息、产品信息、本文件编号、出厂日期或包装日期 外，还宜包括以下内容。 a）.产品质量证明书GB/T 21294-2014 服装理化性能的检验方法，内容如下： ·供方名称； ? 需方名称； 产品名称、规格； 产品批号； · 产品数量； · 各项参数检验结果； · 检验部门印记和检验员盖章。 b）产品合格证，内容如下： ·检验项目及其结果； ·产品批号； ·检验日期； ·检验员签名或印章。 ）其他。

需方可根据自身的需要，在订购本文件所列产品的订货单内，列出下列内容： a）产品名称； b）产品技术要求； c）产品数量； d)本文件编号； e）供需双方协商确定的内容； )其他。